Gebraucht ASM A 600 UHV #9232052 zu verkaufen
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ID: 9232052
Wafergröße: 8"
Vertical furnaces, 8"
Cluster tool controller
Touch screen monitor
Keyboard with trackball
User interface
Operating system: Windows NT
Hardware system:
Cluster platform module
Cluster platform pump module
CTC Computer cabinet
Process module
Process module pump cabinet
Reactor:
Reaction tube
Method: Single tube
Material: High-purity quartz
Heater element:
Heater wire material: Cantor wire, Ø 8 mm
Normal operating temperature: 500°C to 700°C
Maximum temperature: 800°C
Equal heat length: 300 mm
Temperature control: 500°C to 700°C ± 0.50°C
Control circuit: Cascade
Thermocouple:
(4) Zones
Inside: K-Type
Outside: K-Type with ceramic protective tube
Cooling method: Water-cooling, 2 l/min
Wafer boat:
Wafer size: Ø 200 mm
Wafer quantity: 52 Wafer charges
Material: High-purity quartz.
ASM A 600 UHV ist ein Diffusionsofen zur Herstellung von UHV-Proben. Diese Ausrüstung besteht aus einer Vakuumkammer, einem Vakuumpumpsystem, einer Ofenkammer, einer höhenverstellbaren Heizung und allen notwendigen Steuerungen, Stromversorgung und Zubehör. Die Vakuumkammer ist für einen Basisdruck von 5x10-6 Torr ausgelegt, geringere Basisdrücke sind durch Ausbacken aus der Kammer erreichbar. Die Kammer ist zylinderförmig mit zwei Schlitzen, um auf die Heizung und Probe zuzugreifen. Die beiden inneren Stufen nehmen die Pumpstufen auf, die äußeren Stufen Heizung und Probe. Die inneren Stufen werden durch ein rotierendes Entlüftungsventil gedreht, das einen einfachen Zugang zur Probe ermöglicht. Das Ventil ist geöffnet und mit einem manuellen Hebel geschlossen, der an der Kammer befestigt ist und um 90 Grad in beide Richtungen gedreht werden kann. Ein Hochvakuum-Nadelventil dient zur Feinventilsteuerung und Genauigkeit. Die Vakuumpumpeinheit umfasst eine Kühlfalle, eine Rotationspumpe, eine Diffusionspumpe und eine Kombination aus mechanischen, öl-, kryogenen und turbo-molekularen Pumpen. Mit der Kältefalle wird der Partialdruck des evakuierten Prozessgases verringert, der durch die auf der Innenkammer befindlichen Dreh- und Diffusionspumpen weiter reduziert wird. Die mechanischen Pumpen liefern eine hohe Pumpgeschwindigkeit und die Ölpumpe, ein hoher Enddruck für ein bestimmtes Verhältnis von Gasvolumenverdrängung. Die Kryo- und Turbopumpen sind mit der Kammer für ein tiefes Ultahigh-Vakuum verbunden. Die Ofenkammer ist ferner mit einem höhenverstellbaren Heizgerät ausgestattet, mit dem die Probe für Diffusionsprozesse bis zu 1000 ° C erwärmt und in situ gemessen wird. Die höhenverstellbare Heizung wird über eine programmierbare Steuerung aufgebaut und gesteuert, die auch externe Anschlüsse und Sensoren steuert. Die Steuerung umfasst interne Multiplexer, die mehrere elektrische Geräte gleichzeitig handhaben. Die Heizmaschine ist robust und effizient und bietet sowohl einen hohen als auch einen niedrigen Temperaturbereich skalierbar. Das gesamte Werkzeug ist aus Edelstahl gefertigt, wobei die Hauptkammer einen Innendurchmesser von 600 mm und eine Höhe von 1500 mm aufweist. Die Kammer enthält ein Sichtfenster und eine Vakuumentlüftung für die Probe. Die gesamte Anlage wird mit einer Sockel- und Klemmanordnung geliefert, die eine sichere und einfache Handhabung des Ofens ermöglicht. Ein 600 UHV Diffusionsofen ist eine vielseitige Lösung zur Herstellung von Hochvakuumproben und Durchführung einer Reihe von Diffusionsprozessen. Die höhenverstellbare Heizung ermöglicht eine präzise Steuerung der Probenheizung, so dass Experimentatoren die gewünschten Ergebnisse erzielen können, während ihre hochwertige Konstruktion und ihr robustes Design eine langfristige Zuverlässigkeit gewährleisten.
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