Gebraucht ASM A 600 #112365 zu verkaufen

ID: 112365
Wafergröße: 8 "
LPCVD Furnaces UHV Vertical furnaces Cluster tool controller Touch screen monitor Keyboard with trackball User interface Hardware system: Cluster platform module Cluster platform pump module CTC Computer cabinet Process module Process module pump cabinet Reactor: Reaction tube Method: Single tube Material: High-purity quartz Heater element: Heater wire material: Cantor wire, Φ 8 mm Normal operating temperature: 500°C to 700°C Maximum temperature: 800°C Equal heat length, 12" Temperature control: 500°C to 700°C ± 0.50°C Control circuit: Cascade Thermocouple: (4) Zones Inside: K-Type Outside: K-Type with ceramic protective tube Cooling method: Water-cooling 2 l/min Wafer boat: Wafer size, Φ 8" Wafer quantity: 52 Wafer charges Material: High-purity quartz Operating system: Windows NT.
ASM A 600 ist ein Diffusionsofen und Zubehör, das speziell für die Abscheidung von dünnen Schichten auf Substraten entwickelt wurde. Es handelt sich um einen Hochtemperaturofen, der in der Lage ist, Filme unterschiedlicher Dicke und Form abzuscheiden. Der Ofen hat eine Leistung von 600 kW, mit einer maximalen Betriebstemperatur von 1.500 ° C. Es bietet ausgezeichnete Beständigkeit gegen thermischen Schock und Hochtemperaturumgebung. Die Temperatur kann mit einem Bereich von 0-1.500 ° C geregelt werden. Ein 600 ist mit einem robusten, wärmeisolierten Stahlsockel, einer Kombination aus oben montierter und doppelwandiger Kammerkonstruktion, einem energiesparenden Wärmeübertragungssystem und einer leistungsstarken Festkörperelektronik aufgebaut. Das integrierte Steuerungssystem bietet benutzerfreundliche Funktionen wie eine einfache Start/Stopp-Tastatur mit zwei Tasten, vorprogrammierte Parameter für nahtlose und einfache Bedienung, Grenzwerte für die Übertemperatursicherheit und Funktionen für Temperaturrampe/Tränken. ASM A 600 bietet auch eine breite Palette von Zubehör, wie mehrere Substrathalter, ein/mehrere Substratantrieb, Auto-Feeder, und Cool-down-Techniken. Die breite Palette an Substrathaltern und Substraten ermöglicht die Verarbeitung einer Vielzahl von Substraten unter unterschiedlichen Temperatureinstellungen. Darüber hinaus ermöglichen die integrierten Autoförderer das sichere und effiziente Be- und Entladen der Substrate. Der Ofen ist auch mit Abkühltechniken ausgestattet, wie Gas- und Flüssigkeitskühlung, um einen schnellen Übergang von hohen Verarbeitungstemperaturen zu einer niedrigeren Temperatur zu ermöglichen, die für die Handhabung der Substrate förderlich ist. Ein 600-Diffusionsofen umfasst auch spezialisierte Schnellabschaltungen, die im Notfall alle Operationen sofort stoppen und den Ofen auf eine sichere Temperatur bringen. Der Ofen bietet zudem eine einfache Wartung und Wartung mit integrierten Funktionen, die für höchste Genauigkeit, Stabilität und Zuverlässigkeit bei gleichbleibender Dünnschichtabscheidung ausgelegt sind. Insgesamt ist ASM A 600 ein hochleistungsfähiger und zuverlässiger Diffusionsofen mit einer breiten Palette an Zubehör, der eine effiziente und genaue Dünnschichtabscheidung ermöglicht. Es ist die perfekte Lösung für Anwendungen, die wiederholbare, hochwertige Dünnschichten erfordern.
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