Gebraucht ASM A412 Doped Poly #9244651 zu verkaufen

ASM A412 Doped Poly ist ein Hochtemperatur-Diffusionsofen, der speziell für die Produktion von dotiertem Polysilizium entwickelt wurde. Es bietet die höchste Prozesstemperatur bis 1475 ° C und eine hohe Temperaturgleichförmigkeit von ± 3 ° C und gewährleistet eine optimale Einfang- und Temperaturregelung während des Prozesses. Die fortschrittliche PID (Proportional-Integral-Derivative) Steuerungstechnologie sorgt für eine genaue Überwachung und Kontrolle der Schnittstellentemperaturen. Das leistungsstarke Thermomanagement sorgt für eine schnelle und gleichmäßige Erwärmung von Wafern bis 4,5 "Durchmesser, bietet eine homogene Dotierstoffausbreitung und verbesserte Glühqualität. Die Fähigkeit, den Gasstrom in der gesamten Anlage genau zu steuern, gewährleistet, dass Gase optimal in der Kammer verteilt werden, was zu einem sicheren und effizienten Prozess führt. A412 Doped Poly ist mit einer Reihe von Zubehör ausgestattet, darunter ein wassergekühltes, koaxiales Quarzrohr, ein Quarzbootlader, ein Prozess-Waferlader, eine Glühkammer aus Edelstahl und ein Gasdetektionssystem. Die Gas Detection Unit ist eine integrierte Komponente, die den Gasstand in der Glühkammer überwacht und so die Sicherheit vor gefährlichen Nebenprodukten gewährleistet, während der Waferlader Wafer sicher zwischen der Glühkammer aus Edelstahl und der kontrollierten Umgebung überträgt. Zusätzlich ist das wassergekühlte Quarzrohr für eine optimale Isolierung und Kühlung des Eintrittspunktes der Gase ausgelegt, um eine beliebige Wärmeleitfähigkeit auszugleichen, was die Wärmeübertragung und damit die gesamte Verarbeitungszeit verbessert. Abschließend ist ASM A412 Doped Poly ein fortschrittlicher Diffusionsofen, der für die Produktion von dotiertem Polysilizium entwickelt wurde und eine gleichmäßige Erwärmung bis 1475 ° C bietet. Es ist mit Funktionen und Zubehör wie der Gasdetektionsmaschine, dem Waferlader, dem Quarzbootlader und dem wassergekühlten Quarzrohr verpackt, um einen effizienten und korrekten Gasfluss für einen sicheren, gleichmäßigen und schnellen Prozess zu gewährleisten. Mit A412 Doped Poly können Anwender eine hohe Glühqualität mit homogener Dotierstoffausbreitung erreichen.