Gebraucht ASM A600 UHV-CP #9249525 zu verkaufen

ASM A600 UHV-CP Diffusionsofen ist für die hocheffiziente Produktion von großflächigen Verbundhalbleitermaterialien konzipiert. Es ist für die sichere und zuverlässige Verarbeitung von Substraten bis zu einem Durchmesser von 6 Zoll ausgelegt. Der Diffusionsofen verfügt über eine 600 mm lange Prozesskammer, die mit einer fortschrittlichen Druckkontrolleinrichtung ausgestattet ist. Die Ultrahochvakuum (UHV) -Betriebsumgebung der Kammer sorgt für saubere, niedrige Kontaminationswerte und sorgt für eine schnelle Nitridation, Diffusion und Dotierungskodierung von Materialien. Das Dynamic Pressure Control System ermöglicht eine präzise Temperaturregelung und eine schnelle Abklinggeschwindigkeit. Dies ermöglicht präzise Auf-/Abwärtszeiten für die Diffusion von Wafersubstraten, wodurch die gesamten Prozesszeiten reduziert und beibehalten werden, ohne dabei auf Qualität zu verzichten. Der Ofen enthält auch eine Heizstromversorgung, die bis zu 25kW ausgegeben werden kann, und eine kompressionsaschefreie Muffelkonstruktion. Die Verbrennungsanlage bietet eine sehr saubere Umgebung für die Materialbearbeitung, während Rauch und andere Umweltverschmutzungen beseitigt werden. Das Muffel-Design ermöglicht eine schnelle Wärmeableitung, wodurch keine Kühlzonen erforderlich sind. Darüber hinaus umfasst der Ofen eine hochpräzise Steuerungsmaschine, die umfassende Prozessüberwachungs- und Sicherheitsprogramme bereitstellt. Das Tool umfasst eine Vielzahl von Schnittstellenmodi und Supervisory Control and Data Acquisition (SCADA), um den Ofen einfach in jede bestehende Fertigungsumgebung zu integrieren. Die integrierten Sicherheitssysteme bieten den Betreibern eine umfassende Reihe von Sicherheitsmerkmalen, und der Ionisationsschutz trägt dazu bei, das Risiko von elektrischen Lichtbogen und/oder Funkenbildung in der Prozesskammer zu vermeiden. A600 UHV-CP Diffusionsofen bietet durch seine modernisierten Konstruktions- und Sicherheitsmerkmale eine bemerkenswerte Effizienz und kann problemlos in bestehende Produktionslinien und Prozesse integriert werden.