Gebraucht ASM A600 UHV-CVD #9239207 zu verkaufen
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ID: 9239207
Weinlese: 1997
CVD System
MITSUBISHI FT-3300W-W111 Turbo pump and controller
BROOKS 001-7500-05 Robot
BROOKS Controller and teaching pendant
1997 vintage.
ASM A600 UHV-CVD ist ein Diffusionsofen mit Zubehör, der das Wachstum hochgleichmäßiger dünner Materialfolien ermöglicht. Es ist speziell für den Einsatz in der ultrahochvakuumchemischen Dampfabscheidung (UHV-CVD) konzipiert. Diese Kammer wird häufig zur Abscheidung von dünnen Schichten aus Metallen, Oxiden, Nitriden und auch anderen Materialien verwendet. A600 UHV-CVD verfügt über ein ganzmetalliges, angeflanschtes Design, das eine sichere Abdichtung zwischen dem Innenraum und der äußeren Vakuumumgebung bietet. Es ist mit Hochtemperaturheizelementen ausgestattet, die eine Sublimation und Abscheidung von Materialien aus der Dampfphase ermöglichen. Die Kammer umfasst 3 Heizzonen, wobei die Temperatur von 40 ° C bis 900 ° C einstellbar ist. Darüber hinaus verfügt die Kammer über eine präzise Temperaturregeleinrichtung und auch Anschlüsse, die den Zugriff auf Vor-Ort-Überwachung und -Analyse ermöglichen. Das System bietet eine Ansicht, die eine direkte Beobachtung des Abscheideprozesses und eine eingebaute Kühleinheit ermöglicht, um die Kammer nach Abschluss der Abscheidung schnell abzukühlen. Es gibt auch mehrere Sicherheitsmerkmale wie Überdruck, niedriger Druck und Übertemperaturalarme, die eingestellt werden können, um eine optimale Sicherheit während des Abscheideprozesses zu gewährleisten. Die Maschine wurde entwickelt, um die Verschmutzung zu minimieren. Es verfügt über eine Reihe von Funktionen, die eine saubere Umgebung wie Gasspülung, statischer Headliner, Teflon® Gasfallen, internes Pumpwerkzeug und temperaturgesteuerte Getter gewährleisten. Die Kammer enthält auch einen Partikelmonitor, um Partikel der Größe 0,1 und kleiner zu detektieren, um die Sauberkeit zu erhalten. Die Kammer umfasst zwei Probenhalter. Der obere Halter ist für Wafer und Dias, während der untere Halter für Späne, Stücke und Proben mit kleineren Abmessungen ist. Es besteht aus hochwertigem Edelstahl und wurde entwickelt, um eine schnelle Thermisierung und große Präzision für die Probenplatzierung zu gewährleisten. Das Gut kann für die Abscheidung von dünnen Filmen aus verschiedenen Materialien verwendet werden und stellt dadurch Proben mit ausgezeichneter Gleichmäßigkeit her. Es ist mit fortschrittlicher Software und einer intuitiven Benutzeroberfläche ausgestattet, mit der Benutzer Parameter während der Ablagerung leicht steuern und manipulieren können. Das Modell ist ein wichtiges Werkzeug für Forscher aus den Bereichen Mikroelektronik, Optik und Materialwissenschaft.
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