Gebraucht ASM A600 UHV #9249518 zu verkaufen
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ID: 9249518
Weinlese: 1997
CVD System
MITSUBISHI FT-3300W-W111 Turbo molecular pump
MITSUBISHI FT-3300 Turbo molecular pump controller
ASM
OMRON Sysmac
Digital dynamic servos and controllers
ANELVA and BALZERS Gauges
SAES PS4-MT15-N-2 Nitrogen purifier
1997 vintage.
ASM A600 UHV ist ein Hochvakuum-Diffusionsofen und Zubehör für thermische Verarbeitungsanwendungen wie schnelles thermisches Glühen (RTA), Oxidation, Nitridierung, Carbotisierung und metalorganische chemische Dampfabscheidung (MOCVD). Das Gerät verfügt über eine versiegelte Graphitkammer, die eine gasdichte Dichtung und überlegene feuerfeste Materialien verwendet, um UHV-Werte zu erreichen. Die Kammer enthält auch ein bewegliches Quarzfenster, das eine maximale Arbeitstemperatur von 1800 ° C gewährleistet. Der Ofen beinhaltet auch ein leistungsstarkes Gebläse, das einen hohen Luftdruck erzeugt und die Handhabung hoher Temperaturen ermöglicht, ohne schwere und teure Hardware zu verwenden. Dieses Gebläse ist auch mit einem luftgekühlten laminaren Luftstromsystem und einer eingebauten Temperaturregeleinheit ausgestattet. A600 UHV kommt mit einer Reihe von Zubehör für den Einsatz in Hochtemperaturanwendungen. Dazu gehören eine Vakuumdurchführung, eine Gasdurchführung, ein Balg, eine Öffnung zur Abwassersammlung, Temperatursensoren und Sonden sowie ein Gasleitungsfilter. Alle Komponenten sind so konzipiert, dass sie den hohen Temperaturen und Vakuumumgebungen dieser einzigartigen Maschine standhalten. ASM A600 UHV ist mit einer ausgeklügelten Software gekoppelt, die eine präzise Steuerung von Temperatur, Druck und anderen Größen ermöglicht. Darüber hinaus ermöglicht diese Software Benutzern die Überwachung, Aufzeichnung und Analyse eines Prozesses für eine Vielzahl von Bedingungen und Konfigurationen. Die Software bietet auch intuitive Grafiken für Forschung und Analyse. A600 UHV-Diffusionsofen und Zubehör bietet Vorteile der hohen Temperaturverträglichkeit, chemischer Inertität und langer Lebensdauer. Es ist auch sicher zu verwenden aufgrund seiner versiegelten Kammer-Design, und ist sehr energieeffizient. Dieses Tool ist ideal für eine breite Palette von Forschungsanwendungen, da es sehr zuverlässige und genaue Ergebnisse liefern kann.
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