Gebraucht ASM Advance 300 VT #9206100 zu verkaufen
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ID: 9206100
Weinlese: 1997
Vertical LPCVD furnace
Process: Oxide
CIM
Hardware configuration:
Main system:
Main body (Carrier stage)
Utility box
Handler system:
Wafer handing robot
Boat elevator
Cassette loader
Configuration:
Safety specification: ASM Standard
System layout type: U/Box type (I)
System hand: LL
N2 Load lock
Heater type: Temp wire
Torch heater
Process gasses:
Process gas 1 / N2 (30SLM)
Process gas 2 / O2 (20SLM)
Process gas 3 / HCL
Process gas 4 / N2O
Process gas 5 / H2O
Gas distribution system:
Basic style: Conventional gas system
Tubing material: Stainless steel
Tubing finish: Electro-polished
Manual & air-operated valve: Nupro
MFC Unit
Wafer / Cassette handling:
SEMI STD-Notch, 8"
Cassette type: Entergris / 704-503T2
Cassette number of wafers: 25
Cassette storage: 16
Fork type / Material
Fork variable pitch
Boat / Pedestal: 2 Boat
(150) Production wafers
Boat rotation not installed
System control:
System controller: IBM 486 OS2
Torch controller: H2O Separate element Pre burner
Signal tower colors: G / A / B
General pressure display unit: Pressure PSI
Cabinet exhaust display unit: H20
ASM Furnace temp controller
Host communication
Host communication: User host computer
User host computer I/F: SECS I / II (RS232)
Information transfer protocol: GEM
Equipment host I/F connection: U/BOX Top
Group controller: HIA
Facility electrical equipment power input (2 Lines):
Voltage: 208 VAC, 3 Phase
Voltage: 120 VAC, 1 Phase
UPS Input / Output voltage: 120V / 100V
1997 vintage.
ASM Advance 300 VT ist ein Diffusionsofen und Zubehör für moderne Wafer Herstellungsprozesse entwickelt. Es bietet eine hochmoderne Hochtemperaturglühsteuerung und liefert präzise Gleichmäßigkeit für komplexe Diffusionsprozesse. Advance 300 VT verfügt über ein einzigartiges vertikales Technologie-Design für mehr Gleichmäßigkeit und eine innovative Zwei-Zonen-Steuerung für überlegene Prozesskontrolle und Temperaturgenauigkeit. Modernes Kühlsteuerungssystem mit einer Kombination aus kalten Wand- und Verteilerplatten-Designs sorgen für maximalen Durchsatz und Einheiteneffizienz. Die Maschine ist mit drei Thermoelementhülsen und bis zu 24 Thermoelementpunkten für eine überlegene Temperaturerfassung über den gesamten Wafer ausgestattet. Das vertikale Design von ASM Advance 300 VT eliminiert Temperaturschwankungen über den Wafer und sorgt für hohe Präzision und Reproduzierbarkeit für kritische Prozesse. Dieses hochpräzise Werkzeug bietet auch beispiellose Prozessfähigkeiten, die eine präzise Temperaturregelung und enge Toleranzen ermöglichen. Advance 300 VT ist in der Lage, Prozessanforderungen von der herkömmlichen Waferherstellung bis zu sehr hohen Temperaturen für fortschrittliche Prozesse wie die Herstellung von Nanomaterialien zu unterstützen. Darüber hinaus verfügt das Asset über die Flexibilität, eine Vielzahl von Quarzbootkonfigurationen unterzubringen, insbesondere solche mit komplizierten Designfunktionen wie Kanäle und andere komplizierte Funktionen. Dies ermöglicht maximale Prozessflexibilität und hilft bei der Optimierung der Produktionsabläufe. ASM Advance 300 VT ist aufgrund seiner fortschrittlichen Wärmeverteilungssysteme und thermischen Steuerungssysteme in der Lage, eine außergewöhnliche Gleichmäßigkeit der Temperatur über alle Waferpositionen aufrechtzuerhalten. Darüber hinaus hat es erhebliche technische Vorteile in Bezug auf sein technisches Design und seine Produktflexibilität, einschließlich niedriger Stromverbrauch, einem Low-Profile-Design und einem einfachen Zugriff auf alle Komponenten. Es bietet auch eine breite Palette von Optionen, einschließlich einer niedrigen thermischen Zyklusschalter für die Prozessoptimierung, sowie ein Schwerkraftscharnier-Modell für mehr Flexibilität. Insgesamt ist Advance 300 VT ein hochzuverlässiger und präziser Diffusionsofen und Zubehör für moderne Wafer-Herstellungsprozesse. Es verfügt über ein fortschrittliches Temperaturregelsystem, überlegene Einheitlichkeit und flexible Konstruktionsmöglichkeiten für optimierte Produktionsabläufe.
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