Gebraucht ASM Advance 300 VT #9206101 zu verkaufen

ASM Advance 300 VT ist ein Diffusionsofen- und Zubehörsystem von ASM International. Es wurde entwickelt, um ein modulares, umfassendes Ätz- und Abscheidungssystem zu sein, das Komponenten enthält, die für eine Vielzahl von Anwendungen in der Halbleiterforschung und -fertigung, in der MEMS-Forschung und -Fertigung sowie in der Solarzellenproduktion geeignet sind. Der Advanced 300 VT verfügt über mehrere wichtige Merkmale für einen erfolgreichen Diffusionsofenbetrieb. Es ist mit einem Vakuumdiffusionsofen, einer einstufigen Niederdruckprozesskammer, einem Pyrometer und Thermoelement zur Temperaturregelung und einem widerstandsbeheizten Suszeptor ausgestattet. Der Ofen enthält auch ein unabhängig gesteuertes Pyrometer zur Gasabgasregelung. Der Ofen hat aufgrund seines geringen Stromverbrauchs in Heiz- und Kühlkreisläufen einen extrem niedrigen Energieverbrauch und trägt zur Senkung der Gesamtkosten bei. Zur präziseren Steuerung des Prozesses umfasst der Advanced 300 VT eine digitale Varian 801-Quelle zur Steuerung der Temperaturänderungsrate sowie einen integrierten Mikroprozessor zur Echtzeitsteuerung von Prozessparametern. Der Mikroprozessor wird auch in Verbindung mit einer grafischen Benutzeroberfläche oder einem programmierbaren Logikcontroller (SPS) zur einfachen Einstellung von Diffusionsofenparametern verwendet. Der Ofen integriert sich nahtlos mit anderen Geräten, wie einem On-Wafer Scanner zur Steuerung sowohl der Substratausrichtung als auch des Temperaturprofils. Es hat auch viele manuelle und automatisierte Schritte, um perfekte Gleichmäßigkeit zu gewährleisten, wie Auto-Temp-Steuerung und Flusssteuerung. Der Advanced 300 VT verfügt zudem über Hochgeschwindigkeits-Prozesszyklen mit hoher Genauigkeit, die einen höheren Durchsatz ermöglichen. Es ist in der Lage, kürzere Prozesszeiten aufgrund der automatisierten Profilsteuerung und die Fähigkeit, Prozessparameter nach Wunsch zu ändern. Die Vakuumkammer bietet auch eine konstante Temperatur für eine effiziente optimale Diffusion und enthält ein Suszeptor-Spannfutter, um zu verhindern, dass Schmutz in die Kammer eindringt und Schäden verursacht. Der Advanced 300 VT ist auch für die Sicherheit ausgelegt - Sicherheitsmerkmale der Stufe 1 und Stufe 2 und ein spezielles Design, um den Benutzer während des normalen Betriebs vor Wärmestrahlung und übermäßiger Temperatur zu schützen. Das Advanced 300-VT bietet präzise, wiederholbare Prozesszyklen, mit denen Benutzer ihre Produktivität und Zuverlässigkeit verbessern können. Es ist die perfekte Wahl für Forschungs- und Fertigungsanwendungen, aufgrund seiner Vielseitigkeit, effizienten Betrieb und ausgezeichnete Erweiterbarkeit.