Gebraucht ASM Advance 300 VT #9206104 zu verkaufen
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ID: 9206104
Vertical LPCVD furnace
Process: Oxide
CIM
Hardware configuration:
Main system:
Main body (Carrier stage)
Utility box
Handler system:
Wafer handing robot
Boat elevator
Cassette loader
Configuration:
Safety specification: ASM Standard
System layout type: U/Box type (I)
System hand: LL
N2 Load lock
Heater type: Temp wire
Torch heater
Process gasses:
Process gas 1 / N2 (30SLM)
Process gas 2 / O2 (20SLM)
Process gas 3 / HCL
Process gas 4 / N2O
Process gas 5 / H2O
Gas distribution system:
Basic style: Conventional gas system
Tubing material: Stainless steel
Tubing finish: Electro-polished
Manual & air-operated valve: Nupro
MFC Unit
Wafer / Cassette handling:
SEMI STD-Notch, 8"
Cassette type: Entergris / 704-503T2
Cassette number of wafers: 25
Cassette storage: 16
Fork type / Material
Fork variable pitch
Boat / Pedestal: 2 Boat
(150) Production wafers
Boat rotation not installed
System control:
System controller: IBM 486 OS2
Torch controller: H2O Separate element Pre burner
Signal tower colors: G / A / B
General pressure display unit: Pressure PSI
Cabinet exhaust display unit: H20
ASM Furnace temp controller:
Host communication
Host communication: User host computer
User host computer I/F: SECS I / II (RS232)
Information transfer protocol: GEM
Equipment host I/F connection: U/BOX Top
Group controller: HIA
Facility electrical equipment power input (2 Lines):
Voltage: 208 VAC, 3 Phase
Voltage: 120 VAC, 1 Phase
UPS Input / Output voltage: 120V / 100V
1997 vintage.
ASM Advance 300 VT ist ein Diffusionsofen der nächsten Generation, der eine zuverlässige, hochpräzise Atmosphäre für Metallbehandlungen bietet. Es ist mit einer breiten Palette von Zubehör ausgestattet, so dass es eine Reihe von Prozessen durchführen kann, einschließlich Härten, Anlassen, Glühen, Beschichten und Aufkohlen. Der Ofen ist aus Hochleistungsedelstahl gefertigt und hat ein robustes Design für Langlebigkeit und Zuverlässigkeit. Es ist mit einer separaten Streukammer ausgestattet, um höchste Genauigkeit zu gewährleisten. Außerdem sind einfach zu bedienende Touchscreen-Bedienelemente enthalten, die eine präzise Temperatur- und Atmosphärenkontrolle ermöglichen. Mit einem aktiven Volumen von 100 Litern kann Advance 300 VT bis zu 1 350 ° C (2 460 ° F) erwärmen und auf jede Temperatur zwischen 25 ° C (77 ° F) und 1 350 ° C (2 460 ° F) eingestellt werden. Es verfügt außerdem über ein leistungsstarkes Heizelement und ein Wasserkühlsystem, das schnelle, kontrollierte thermische Zyklen gewährleistet. In Bezug auf Zubehör ist ASM Advance 300 VT mit vielen Funktionen ausgestattet, die auf Ihre Bedürfnisse zugeschnitten werden können. Es kommt mit einer Reihe von Tiegelkonfigurationen für Tiegelbehandlungen, einschließlich quadratischer und runder Versionen. Ebenfalls enthalten sind schaltbare Sauerstoffsonden, die während eines Durchlaufs die Sauerstoffkonzentration im Gas erfassen und entsprechend einstellbar sind. Weitere optionale Zubehörteile sind eine Edelstahl-Filtereinheit, Temperatursensoren, ein Kühlmitteldurchflussmesser, Mehrsäulenschalen zum Härten, Anlassen und Glühen, spezielle Pyrometer für den Tiegel und ein Vakuumsystem zur Behandlung von nicht oxidierenden Materialien. Advance 300 VT ist ein leistungsstarker Diffusionsofen, der aufgrund seiner Genauigkeit und Leistung geschätzt wird. Mit seiner breiten Palette an Zubehör ist es ein ausgezeichnetes Werkzeug für die Metallbehandlung. Es ist perfekt für eine Reihe von professionellen und industriellen Anwendungen und liefert zuverlässige Ergebnisse und langfristige Leistung.
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