Gebraucht ASM Furnace #195512 zu verkaufen

Ein ASM-Ofen ist ein Diffusionsofen, der den sich entwickelnden Anforderungen der Silizium-Geräteherstellungsprozesse gerecht wird. Die Niedertemperatur-Gleichmäßigkeit und die hochpräzise Temperaturregelung sorgen für konsistente Heizprozesse und einen zuverlässigen Betrieb in einer Vielzahl von Anwendungen. Dies macht es ideal für die Herstellung von mikroelektronischen Bauelementen wie MEMS-Bauelementen, integrierten Schaltungen und Dünnschichttransistoren. ASM Ofen verfügt über eine fortschrittliche Luft oder Wasserstoff-gereinigte Atmosphäre Design. Dadurch kann Ofen zwischen 500 ° C - 1200 ° C in einer Atmosphäre ohne Sauerstoff oder Schwefeldioxid betrieben werden. Dies ermöglicht eine niedrige Temperatur gleichmäßige Wärmeverteilung im gesamten ASM Ofen und damit eine hochpräzise Temperaturregelung. Ofen ist auch mit fortschrittlichen Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, wie Prozesssensoren, Wärmeisolation und einem Wärmeschild, um die Komponenten im Inneren vor der Hochtemperaturumgebung zu schützen. ASM loadlock ermöglicht eine gleichmäßige Erwärmung des Substrats und minimiert gleichzeitig die Verschmutzung. Die Belastung verhindert auch das Ausgasen während des ASM-Ofenbetriebs, indem Gase und Partikel aus der Atmosphäre entfernt werden, bevor das Substrat in den Ofen gelangt. Dies bedeutet, dass das Substrat vor Eintritt in die Kammer für den Abscheideprozess vorbereitet wird. ASM Diffusion ASM Ofen enthält auch Hochleistungs-Schrittmotoren für die Temperaturregelung. Die in den Schrittmotor integrierte horizontale Bauweise ermöglicht eine präzise Steuerung des Abscheideprozesses. Dies ermöglicht auch eine präzise Erwärmung des Substrats auf Temperaturen bis 1200 ° C ohne thermischen Rücklauf. Für erhöhte Datengenauigkeit verfügt Ofen über eine empfindliche Wärmebildausrüstung. Dieses System zeichnet Temperaturwerte auf und ermöglicht es ASM Furnace, die Temperaturregelungssysteme bei Bedarf zu aktivieren. Die fortschrittliche Software bietet dem Anwender auch eine detaillierte Analyse der thermischen Stabilität des Substrats während des Diffusionsprozesses. Ofen ist auch mit einem Heizelement, das aus einem Molybdän-Disilizid (MoSi2) Heizschild Baugruppe besteht. Der Heizschild schützt die Bauteile vor den höheren Temperaturen und verhindert auch thermisches Auslaufen. Darüber hinaus ist ASM Furnace auch mit Kühlventilatoren und einem Filter ausgestattet, um die Einheit kühl und frei von Staubansammlung zu halten. ASM Diffusionsofen ist mit einer breiten Palette von Zubehör für einen optimalen Betrieb ausgestattet. Dieses Zubehör umfasst eine Gassteuereinheit, Ladelöser, Inertgasversorgungssysteme, eine Probenträgermaschine und ein Abgaswerkzeug. Die Gassteuereinheit ermöglicht es Benutzern, die Art der im Diffusionsprozess verwendeten Gase und die Konzentrationen der Gase in der Atmosphäre zu steuern. Der Probenträger ermöglicht eine exakte Platzierung des Substrats innerhalb der Kammer für optimale Ergebnisse.