Gebraucht ASM MIR 3000 #9228941 zu verkaufen

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ASM MIR 3000
Verkauft
ID: 9228941
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2011
CVD System, 12" 2011 vintage.
ASM MIR 3000 ist ein Diffusionsofen und Zubehör, das für verschiedene Prozesse wie Oxide und Nitridwachstum entwickelt wurde. Es ist mit zuverlässiger und wirtschaftlicher Heiztechnik, hochgenauer Temperaturregelung und fortschrittlichen Gasregelsystemen ausgestattet. Die MIR 3000 umfasst auch eine Reihe von Sicherheitssystemen zum Schutz der Arbeitnehmer und der Ausrüstung. ASM MIR 3000 verfügt über einen Top-Ladeherd, der eine maximale thermische Gleichmäßigkeit bietet, um konsistente Verarbeitungsergebnisse zu gewährleisten. Es verfügt auch über zwei unabhängige Heizzonen, die bis zu 1500 ° C heizen können, so dass in jeder Zone je nach Wunsch unterschiedliche Temperaturen eingestellt werden können. In Sachen Temperaturregelung bietet MIR 3000 20-stufige programmierbare Heizprofile sowie fortschrittliche Rapid Thermal Processing-Technologie, die mit schnellen thermischen Zyklen in Sekunden oder Minuten Temperaturen bis zu 1600 ° C erreichen kann. Der Ofen umfasst auch fortschrittliche Gassteuerungssysteme und mehrschichtige gasdichte Oberflächen, die die Gasdurchlässigkeit und den Verlust durch Verdunstung reduzieren. Für zusätzliche Sicherheit verfügt ASM MIR 3000 über mehrere redundante Vakuumverriegelungen sowie Infrarot- und Pyrometersysteme, um menschliches Versagen zu überwachen und zu verhindern. MIR 3000 kann mit einer Reihe von Materialien zu Prozessverpackungen für optimale Ergebnisse kombiniert werden. Dieser Ansatz, der als architekturbasiertes Prozessdesign bekannt ist, ermöglicht dem Bediener die Feinabstimmung der Parameter und die Anpassung des Prozesses an die Anwendung. ASM MIR 3000 ist auch mit einer Vielzahl von CPC-Softwareprogrammen kompatibel, die den Betrieb des Ofens vereinfachen und die Prozessergebnisse optimieren sollen. Dies umfasst eine breite Palette von Funktionen wie Vorprogrammierung, Mehrzonensteuerung, Prozessüberwachung und Datenprotokollierung. Abschließend ist MIR 3000 ein hochwertiger und vielseitiger Diffusionsofen und Zubehör, der für eine Vielzahl von Prozessen konzipiert wurde. Es bietet zuverlässige und wirtschaftliche Heiztechnik, präzise Temperaturregelung, fortschrittliche Gasregelsysteme und ein architekturbasiertes Prozessdesign. Seine CPC-Software-Unterstützung kann auch dazu beitragen, Benutzerfehler zu minimieren und die Effizienz während des Diffusionsprozesses zu maximieren.
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