Gebraucht ASM MIR 3000 #9235099 zu verkaufen

ASM MIR 3000
ID: 9235099
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2013
CVD Furnace, 12" 2013 vintage.
ASM MIR 3000 ist ein zukunftsweisender Tieftemperatur-Diffusionsofen, der speziell für die Herstellung von monokristallinen Siliziumblöcken nach dem Czochralski (Cz) -Verfahren entwickelt wurde. Es verfügt über ein innovatives, energiesparendes induktives Heizsystem mit schneller Kühlfähigkeit und ausgeklügelter Steuerlogik. Es wurde entwickelt, um überlegene Prozessstabilität und -leistung und eine einheitlichere Produktqualität zu bieten. MIR 3000 beinhaltet eine benutzerfreundliche Oberfläche, die für einfache Einrichtung, Bedienung und Wartung ausgelegt ist. Es verfügt zudem über einen automatischen Betrieb mit prozessinterner Überwachung und Analyse für konsistente, klar definierte, reproduzierbare Prozesse. Die vier Überwachungs- und Prozessleitsysteme bieten eine detaillierte statistische Prozesssteuerung, die eine geringe Variation der Eigenschaften und die Gleichmäßigkeit der Ergebnisse gewährleistet. ASM MIR 3000 hat eine maximale Betriebstemperatur von bis zu 2.000 ° C und seine Heizquelle ist ein Drehstrom-Motor-Generator, der eine effiziente und gleichmäßige Erwärmung im Bereich von 1.800-2.000 ° C ermöglicht. Es hat auch eine breite Palette von Kühlmöglichkeiten, von Zwangsarylierung Kühlung bis zu 80 ° C/Minute, Wasser abschrecken Kühlung, mit Kühlraten bis zu 23 ° C/Minute. Seine schnelle Kühlfähigkeit hilft, Kristallisation und Segregation im Barren zu vermeiden. Die MIR 3000 ist mit zusätzlichen Unterstützungseinrichtungen wie Quarzheizungen, Induktorspulen sowie kompletten Temperatur- und Amperesteuerungen ausgestattet. Seine fortschrittliche Prozesssteuerung macht es einfach, Schlüsselparameter wie Prozesszeit, Haltezeit und Heizrate einzustellen und anzupassen, um ein qualitativ hochwertiges Produkt sicherzustellen. Die Software bietet detaillierte Prozessmanagementdaten und ermöglicht mehrstufige Programmierung und Ausführung. Insgesamt ist ASM MIR 3000 damit ein idealer Diffusionsofen zur Herstellung von monokristallinen Siliziumblöcken. Seine überlegene Prozessstabilität, schnelle Kühlfähigkeit und effiziente Steuerungssysteme machen es zu einem zuverlässigen und kostengünstigen Produktionsgerät. Es eignet sich für den Einsatz in der Forschung und industriellen Großserienproduktion.
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