Gebraucht ASM MIR 3000 #9235122 zu verkaufen

Der Diffusionsofen ASM MIR 3000 und das dazugehörige Zubehör bieten eine zuverlässige und effiziente Methode zur Bildung und Integration mikroskopischer Materialschichten auf der Oberfläche von Halbleiterscheiben. MIR 3000 verwendet Diffusionsprozesse, um verschiedene Strukturen und Komponenten auf Wafern wie Gateoxidschichten, Verbindungsvias und epitaktischen Schichten zu erzeugen. Diese Teile bilden die Bausteine für eine ganze Halbleitereinrichtung. Neben der Diffusion bietet das System ASM MIR 3000 Ionenimplantationsmöglichkeiten, die die Schaffung von Dotierstoffbereichen und -schichten ermöglichen, um die Leitfähigkeit der Halbleitereinheit zu steuern. Die Maschine MIR 3000 verfügt über einen Kernofen, der für eine optimale Diffusionsleistung und Prozesswiederholbarkeit unter Verwendung von schnellen thermischen Transienten und einer engen Kontrolle der Kammerumgebung ausgelegt ist. Der Ofen verfügt über eine spezialisierte Sechs-Zonen-Kammer-Konstruktion, die eine präzise Temperaturregelung jeder der Prozesszonen bietet, während auch eine niedrige induzierte Ätzumgebung zur Verfügung stellt, die die Herstellung von feinen Geräteeigenschaftsgrößen ermöglicht. Die Doppelkammerkonfiguration des Ofens bietet eine zusätzliche Option für chargenartige Glühprozesse. ASM MIR 3000 ist auch in der Lage, hochwertige epitaktische und andere Oxidschichten sowie Dünnschichtdielektrika und Kontaktmetallstapelschichten herzustellen. Diese Schichten werden typischerweise als Isolationsschichten, Gateoxide und Transistoren verwendet. Die Anlage verfügt über ein Lastverschlussmodell, um wiederholbare Start- und Endpunkte für jeden Prozess sowie ein schnelles Heiz- und Kühlschieber-Ventil zur schnellen Spülung und Isolierung der Kammer zwischen den Abläufen zu gewährleisten. MIR 3000 Ausrüstung ist für optimale Leistung ausgestattet; der Ofen wird durch eine elektronische Steuerung, eine eigene Kühleinheit und ein Überwachungsuntersystem ergänzt. Die elektronische Steuerungsmaschine ermöglicht eine präzise Steuerung über den gesamten Prozesszyklus. Das eigene Kühlwerkzeug dient zur Stabilisierung der Oberflächentemperatur und verhindert so einen unnötigen Wärmeübergang zwischen dem Wafer und dem Substrat innerhalb der Kammer. Das Monitoring-Asset liefert Live-Feedback für Temperaturbewegungen und ermöglicht die Online-Anpassung von Prozessparametern. Das Modell ASM MIR 3000 ist eine äußerst zuverlässige und effiziente Möglichkeit, Materialschichten auf der Oberfläche von Halbleiterscheiben zu bilden, zu integrieren und zu fertigen, wodurch spezialisierte Elemente für eine Vielzahl von elektronischen Bauelementen geschaffen werden können. Mit seiner Fähigkeit, Schichten und Komponenten schnell und genau zu verarbeiten, ist dieses Gerät eine gute Wahl für die Herstellung von Halbleiterbauelementen.