Gebraucht ASM MIR 3000 #9259684 zu verkaufen
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ID: 9259684
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2011
CVD Furnace, 12"
Dual chambers
EFEM
XP Platform
2011 vintage.
ASM MIR 3000 ist ein Hochtemperatur-Vakuum-Diffusionsofen und bildgebende Ausrüstung für Forschung und Produktionsprozesse konzipiert. Es wird für eine breite Palette von Anwendungen wie Si integrierte Schaltung Verarbeitung und verpackte Geräte, Hochtemperatur-Oxidation, Abscheidung, Wärmeglühen, Dotierungsaktivierung und mehr verwendet. MIR 3000 ist ein robustes, automatisiertes System für Labor- und Industrieanwendungen mit einer einfach zu bedienenden grafischen Oberfläche. ASM MIR 3000 verfügt über Dual-Wafer-Fähigkeit mit einer vielseitigen Ausführungsumgebung, so dass Benutzer separate Prozessrezepte laden und sie unabhängig mit präziser Temperaturregelung und Kontrolle über erzwungene Kühlsegmente ausführen können. Es verfügt über Thermopile und zusätzliche Kaltwandrohre zur Überwachung der Temperaturhomogenität der heißen Zone, die bis zu 1650 ° C reichen kann. Die Gasströme lassen sich auf optimale Gleichmäßigkeit genau einstellen und die variable Positionierung des Heißzonendeckels ermöglicht eine präzise Druckregelung für eine Vielzahl von Prozessen. Die MIR 3000 verfügt außerdem über eine hochauflösende Bildaufnahmeeinheit mit integrierter E-Strahl- und Waferkassette, Mehrfachteilchendetektoren, einer eingebauten Waferstufe und frequenzbasierter Waferorientierung. Es ist auch mit einer ganzen Reihe von Automatisierungsfunktionen ausgestattet, einschließlich On-Demand-Wafer-Bestellung, Echtzeit-Prozessüberwachung und -kontrolle, Rezepterstellung und vieles mehr. ASM MIR 3000 ist auf einfache Wartung und Wartungsfreundlichkeit ausgelegt. Es hat einen modularen Aufbau für einfachen Austausch von Teilen und seine effiziente Kühlmaschine reduziert Stillstandszeiten durch Temperaturschwankungen. Die MIR 3000 verfügt zudem über zahlreiche Sicherheitsmerkmale wie bedienergesteuerte Hot-Zone-Dotierungsaktivierung und automatisierte Druck- und Temperaturregelung. Um maximale Prozesskontinuität und Wiederholbarkeit zu gewährleisten, wird ASM MIR 3000 kontinuierlich überwacht und angepasst, um den Aufbau von Overspray oder Ausgasungsrückständen zu verhindern. Das integrierte Vakuumverriegelungswerkzeug sorgt für einen ausfallsicheren Betrieb und seine Überwachungssysteme warnen vor unbemerkten Prozessstörungen. Insgesamt ist MIR 3000 eine vielseitige und leistungsstarke Bereicherung für eine Vielzahl von Produktions- und Forschungsanwendungen. Es wurde entwickelt, um zuverlässige, zuverlässige Leistung mit hochautomatisierten Prozessen und einer präzisen Regelung von Temperatur, Druck und Durchfluss zu bieten. Die verschiedenen Komponenten des Modells sind benutzerfreundlich und einfach mit anderen Komponenten in einer Produktionsumgebung zu integrieren, so dass Anwender Prozessgleichförmigkeit mit maximalen Erträgen erzielen können.
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