Gebraucht ASM MIR 3000 #9358637 zu verkaufen

ASM MIR 3000 ist ein Diffusionsofen und dazugehöriges Zubehör von ASM International für den Einsatz in Halbleiterherstellungsprozessen. Das System besteht aus einem einzigen Kammer Ofen und Regler, Gasmischer, Ventile, Gasarmaturen, Verteiler und Rohrleitungen, Thermoelemente, und Temperaturanzeige/Regler. Die Hauptkammer der MIR 3000 ist ein vertikaler Zylinder aus Edelstahl und mit einem Graphit-Suszeptor ausgestattet. Der Suszeptor soll den Wafer während der Verarbeitung halten und verteilt die Wärme gleichmäßig über die Oberfläche. Das Innere der Ofenkammer ist ebenfalls mit Graphitdecke ausgekleidet, um eine Wärmedämmung zu gewährleisten. Die Heizelemente befinden sich unterhalb des Suszeptors und steuern die Temperatur der Kammer über SPS (Programmable Logic Controller). Die Heizelemente erzeugen eine gleichmäßige Temperatur innerhalb des Ofenraums. Die Gasgemische werden über den Gasmischer, Ventile, Gasarmaturen, Verteiler und Rohrleitungen der Kammer zugeführt. Der Gasstrom wird durch einen Massenstromregler geregelt, der eine präzise Steuerung der Gaszusammensetzung ermöglicht. Das Gasgemisch wird der Kammer über mehrere Gaseinlässe zugeführt, die mit dem Verteiler und der Rohrleitung verbunden sind. Die Temperatur wird mit Thermoelementen und einem Temperaturmesser/Regler überwacht und gesteuert. Die Thermoelemente werden in die Kammer eingesetzt und erfassen die Temperaturniveaus in der gesamten Kammer. Mit dem Temperaturmesser/Regler wird der Temperaturbereich der Kammer eingestellt und eingestellt. ASM MIR 3000 eignet sich für eine Vielzahl von Diffusionsprozessen, einschließlich thermischer Oxidationen, Nitrieren, Oxidabscheidung und Leiterdotierung. Das System bietet eine präzise Temperaturregelung, ein gleichmäßiges Temperaturprofil in der gesamten Kammer und eine genaue Gasmischung für ideale Diffusionsbedingungen. Das System ist einfach zu programmieren, extrem sicher und zuverlässig und kann für eine Vielzahl von Anwendungen verwendet werden.