Gebraucht ASM MIR 3000 #9358639 zu verkaufen

ASM MIR 3000 Diffusionsofen ist ein vielseitiges Werkzeug für die Halbleiterindustrie, das die Herstellung hochwertiger Halbleiterbauelemente mit komplexen dreidimensionalen Strukturen ermöglicht. Der Ofen ist in der Lage, Passivierungs-, Implantations- und Diffusionsprozesse sowie eine ideale Plattform für Niedertemperaturglühen und thermische Oxidation zu bieten. MIR 3000 ist für den Einsatz mit mehreren Standorten und mehreren Substraten konzipiert und eignet sich somit ideal für Anwendungen in der Großserienproduktion sowie für Forschung und Entwicklung. Der Ofenkern besteht aus einem elektrischen Widerstandselement, das durch eine Kombination von zwei Stromversorgungen beheizt wird und eine präzise Temperaturregelung bis 1350 ° C ermöglicht. Der Innentiegel wird aus Graphit hergestellt, um eine gleichmäßige Wärmeverteilung innerhalb des Ofens zu gewährleisten, und die Oxidationsbeständigkeit des Ofens wird mit einer dichten, luftdichten Isolierung erreicht. Der Hebemechanismus und die Erweiterungsmechanismen sorgen für überlegene Zuverlässigkeit und Langlebigkeit. ASM MIR 3000 verfügt über ein einzigartiges Zubehör, das den Diffusionsprozess einfacher, schneller und zuverlässiger macht. Der Diffusionsansatz und die Einzeldotierungsinjektoren ermöglichen eine präzise Steuerung des Abscheideprozesses, während die Kühl- und Heizgeschwindigkeitsregler, gekennzeichnet durch eine Genauigkeit von 0,1 ° C, zur Modulierung der Temperatur des Diffusionsprozesses verwendet werden. Der einmalige programmierbare Maschinentreiber sorgt für die konsequente Anwendung benutzerdefinierter Parameter und erleichtert die vollständige Rückverfolgbarkeit des Diffusionsprozesses. MIR 3000 umfasst auch Multi-Zone Modulation (MZM) Einheiten, die durch die volle Kontrolle von Temperaturprofilen eine erhöhte Genauigkeit und Sicherheit bieten. Das anspruchsvolle MZM ist auch in der Lage, Tausende von Wafern parallel mit einer maximalen Geschwindigkeit von 900 Wafern pro Stunde zu verarbeiten, perfekt für High-Speed-Produktionsanwendungen. Der Diffusionsofen verfügt zudem über eine breite Palette von Software- und Supportdiensten, mit denen Anwender die Prozessparameter einfach überwachen, anpassen und überprüfen können. Die Betriebssoftware ermöglicht es Benutzern, Parameter des Ofens intuitiv und grafisch einzustellen und zu überwachen, während das Unterstützungssystem den Benutzern Zugriff auf technische Hinweise in Bezug auf Bedienung und Sicherheit gewährt. Darüber hinaus eine Vielzahl von selbstdiagnostischen Tools, mit der Fähigkeit, potenzielle Probleme zu erkennen und zu warnen, bevor sie signifikant werden können. Insgesamt bietet der Diffusionsofen ASM MIR 3000 mit seinem Zubehörprogramm den Herstellern ein effizientes, zuverlässiges und flexibles Werkzeug zur Herstellung komplexer Halbleiterbauelemente. Die präzise Kontrolle der Temperatur und benutzerdefinierte Parameter geben MIR 3000 die Fähigkeit, Millionen von Wafern pro Stunde mit perfekter Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu verarbeiten, so dass es sowohl für die Hochgeschwindigkeitsproduktion als auch für komplizierte Forschungs- und Entwicklungsanwendungen perfekt ist.