Gebraucht ASYST / PST Melitas F30 #293668011 zu verkaufen

ASYST/PST Melitas F30 ist eine hochmoderne Diffusionsofenanlage zur thermischen Behandlung von Substraten. Dieses System eignet sich für eine Reihe fortschrittlicher Verfahren wie metalorganische chemische Dampfabscheidung (MOCVD), Atomschichtabscheidung (ALD) und Epitaxie. Die Einheit besteht aus einem F30 Ofen mit der Fähigkeit, eine schnelle thermische Verarbeitung durchzuführen, sowie einer 7-Vakuum-Zyklusladung, um Substrate in die Kammer hinein und aus dieser heraus zu transportieren. Der Ofen ist aus Hochvakuum-Edelstahl gefertigt und hat eine nutzbare Kammergröße von 25 Zoll mal 25 Zoll. Es kann Substrate mit einem Durchmesser von bis zu 8 Zoll und einer Dicke von bis zu 0,15 Zoll aufnehmen. Der F30 Diffusionsofen kann Substrate bis 950 ° C handhaben. Es ist für eine optimale Gleichmäßigkeit und Gleichmäßigkeit der Temperatur in der Kammer ausgelegt. Dies geschieht mit einer Reihe von Mehrzonenheizungen und fortschrittlichen In-situ-Temperaturreglern mit hochgenauen Sensoren und Temperaturregelalgorithmen. Darüber hinaus ist der F30 Diffusionsofen auch mit einer CCD-Kamera zur Überwachung der Substrate während der Verarbeitung ausgestattet. Die Kamera kann verwendet werden, um Echtzeitinformationen über die Verdampfungs- und Kondensationsprozesse zu erhalten, sowie um Sauberkeit und Sauberkeit der Kammer zu überprüfen. Die im F30 Ofen verwendeten Substratträger sind aus Hochtemperatur-Aluminiumlegierung gefertigt und zur maximalen Wärmerückhaltung hochtemperaturisoliert ausgekleidet. Die Träger verfügen über Quarzbänder, für eine verbesserte Vakuumspülleistung, sowie eine zentrale HF-Spule, zur präzisen Substrattemperaturregelung. Die Maschine ist kompatibel mit den Zubehörprodukten von PST und ASYST Melitas. Dazu gehören Kühlfallen für kryogene Anwendungen, Lastsperren für Niedervakuumanwendungen, Edelstahl-Probenschalen, Quarz-Schnittstellenkomponenten und Ersatz-Heizelemente. Der F30 Diffusionsofen ist ein zuverlässiges und kostengünstiges Werkzeug zur thermischen Behandlung von Substraten. Es ist robust und einfach zu bedienen, so dass es eine große Auswahl für eine breite Palette von fortschrittlichen Prozessanwendungen.