Gebraucht BLACKSTONE / NEY MACS-25-US-HIT #9227403 zu verkaufen
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BLACKSTONE/NEY MACS-25-US-HIT ist ein Diffusionsofen mit integrierten Heizelementen, die eine präzise und gleichmäßige Wärmeverteilung bieten. Es besteht aus einer beheizten Kammer, Ofensteuereinheit und Zubehör. Die beheizte Kammer ist für bis zu 25 Standardträger ausgelegt. Diese Träger können für Sputtern, PECVD, Ionenimplantation, Schnellglühen und Oxidationsprozesse konfiguriert werden. Die Ofensteuerung ermöglicht eine präzise Steuerung aller Heizelemente. Es verfügt über vier Komponententemperaturregler, die eine kombinierte ± 1 ° C Genauigkeit bieten. Die Steuereinheit enthält ferner eine adaptive prädiktive Reglerfunktion, die das Temperaturprofil für eine bessere Prozessgleichförmigkeit einstellt. Darüber hinaus ermöglicht die Benutzeroberfläche eine einfache Parametereinstellung und Überwachung und kann bis zu 20 separate Rezepte protokollieren. Das Zubehör von NEY MACS-25-US-HIT umfasst eine Hochgeschwindigkeits-Turbomolekularpumpe, die zur Erzeugung einer Hochvakuumumgebung verwendet wird. Diese drehzahlregelbare Pumpe ist in der Lage, ein Vakuum von bis zu 10-6 Torr zu erreichen. Darüber hinaus umfasst das System eine Kühlfalle, die flüchtige Stoffe erfasst und speichert, um eine Kontamination der erhitzten Umgebung zu verhindern. Um eine einfache Installation zu erleichtern, wird BLACKSTONE MACS-25-US-HIT mit allen notwendigen Komponenten geliefert, einschließlich Prozessregler, Hochgeschwindigkeits-Turbomolekularpumpe, Kühlfalle, Trägerstützen, Gasleitungen und Stromanschlüsse. Es ist auch mit einem mechanischen Hebemechanismus für das vereinfachte Ein- und Ausbringen des Trägers ausgestattet. MACS-25-US-HIT Diffusionsofen ist eine zuverlässige und vielseitige Lösung, ideal für verschiedene Anwendungen in der Halbleiterindustrie. Seine präzise Temperaturregelung und seine einheitlichen Heizfähigkeiten machen es für komplexe Prozesse wie Sputtern, PECVD, Ionenimplantation, schnelles thermisches Glühen und Oxidation geeignet. Es verfügt auch über eine Hochgeschwindigkeits-Turbomolekularpumpe und eine Kältefalle, um eine hochvakuum- und kontaminationsfreie Umgebung zu schaffen, während seine intuitive Benutzeroberfläche und sein praktisches Zubehör eine effiziente und einfache Bedienung fördern.
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