Gebraucht BRUCE / BTU BDF-4 #9245270 zu verkaufen
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ID: 9245270
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1984
Oxidation / Diffusion furnaces, 6"
4-Stacks
Right to left
In-line style source cabinet
Spare parts included
Stainless steel exhaust scavenger
Stainless steel gas manifolds
With regulators
Filters
Manual valves
Gases:
N2 30 SLM UFC 2000
H2 40 SLM UFC 2000
O2 20 SLM UFC 2000
HCL 2 SLM UFC 2000
Ar 30 SLM UFC 1000
O2 5 SLM UFC 1000
Connected load: ~ 96 kVA at 480 VAC
Supply voltage: 440/480 VAC, 60 Hz, 3 Phase
1984 vintage.
BRUCE/BTU BDF-4 ist ein fortschrittlicher, automatisierter Diffusionsofen für den Betrieb von Forschung und Entwicklung bis zur Produktion. Diffusionsöfen werden verwendet, um eine Volumenoberfläche mit einer für jede spezifische Anwendung spezifischen Endbearbeitungsdicke zu erzeugen. Die besondere Konstruktion und Konfiguration der BTU BDF-4 eignet sich besonders gut für Produktionsabläufe, die zahlreiche kontrollierte Schritte von Diffusion, Heizung, Kühlung und anderen Prozessen erfordern. BRUCE BDF-4 verfügt über eine vakuumdichte Kammer zur gleichmäßigen Verteilung von Temperaturen bis 2000 ° C. Diese Verteilung ermöglicht jedes Mal ein optimales Prozessergebnis. Darüber hinaus umfasst der Ofen eine integrierte Instrumentierung zur Messung mehrerer Prozessvariablen, einschließlich Durchfluss, Temperatur und Druck, und bietet automatische Steuerungsfunktionen für wiederholbare Ergebnisse. BDF-4 wurde entwickelt, um eine Reihe von Substraten zu verarbeiten, einschließlich Aluminium, Edelstahl und Wolfram. Insbesondere soll der Diffusionsofen Verunreinigungen durch Vakuum- oder Sauerstoffatmosphäre reduzieren. Darüber hinaus ist der Ofen für die effiziente Verarbeitung von Keramik- und Halbleitersubstraten ausgelegt, wodurch er für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet ist. BRUCE/BTU BDF-4 beinhaltet auch eine Reihe von kundenspezifischen Zubehörteilen, um den Anforderungen der Kundenproduktion gerecht zu werden. Der Ofen verfügt über magnetische Klemmen, die ein einfaches Halten der Substrate ermöglichen und die Gleichmäßigkeit und Zuverlässigkeit des Produktionsprozesses verbessern. Darüber hinaus umfasst der Ofen Sicherheitsmerkmale wie Durchgangstüren zur Verhinderung von Verletzungen und doppelte bildgebende Quarzfenster für die Sicherheitsüberwachung. Schließlich wird die BTU- BDF-4 durch das SPS/PC-System mit GUI-Software mit 21 CFR Part 11 Compliance betrieben. Diese Software soll Standardprozesse vereinfachen und komplexere Produktionsabläufe automatisieren. Dies trägt zur Verbesserung der Produktionseffizienz und Wiederholbarkeit bei. Darüber hinaus verfügt das SPS/PC-System über mehrere Sprachoptionen, um Benutzer in mehreren Ländern zu unterstützen. Insgesamt ist BRUCE BDF-4 ein fortschrittlicher, automatisierter Diffusionsofen mit Prozessgleichförmigkeit und Kontrolle über eine Reihe von Substraten. Die integrierte Instrumentierung, das anpassbare Zubehör und das SPS/PC-System sorgen für eine umfassende Kontrolle des Diffusionsprozesses und tragen zur Verbesserung der Produktionseffizienz bei.
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