Gebraucht CENTROTHERM Centronic E1200 HT 260-1 #9163724 zu verkaufen

CENTROTHERM Centronic E1200 HT 260-1 ist ein weltweit führender Diffusionsofen und Zubehör, der speziell entwickelt wurde, um Produktionsprozesse für Halbleiteranwendungen zu automatisieren und zu optimieren. Die E1200 HT 260-1 bietet eine leistungsstarke Mehrzonengas-fluxierte Wärmebehandlungskammer mit präziser Temperatur- und Prozesssteuerung, die Substratbeweglichkeit und Zonenflexibilität ermöglicht und gleichzeitig den Stickstoffverbrauch im Vergleich zu herkömmlichen Diffusionsöfen reduziert. Mit der integrierten Überwachung und Kontrolle von Temperatur- und Verbundkonzentrationen verbessert diese Ausrüstung die Gleichmäßigkeit und Effizienz auf Wafersubstraten jeder Größe erheblich. Das fortschrittliche Diffusionsofendesign der E1200 HT 260-1 ermöglicht eine Vielzahl von Prozessfunktionen und Flexibilität für unterschiedliche Substratgrößen. Das Schutzglas-Panel enthält eine große, einfach zu bedienende Touchscreen-Steuerung mit grafischer Software, die dem Benutzer die Möglichkeit gibt, eine Vielzahl von Funktionen zu programmieren, einschließlich individueller Zonenauswahl, Temperaturregelung und Abscheiderate-Einstellungen. Die Gasplatte ist mit einem Durchflussregler ausgestattet, um die Stickstoff- oder Argongeschwindigkeit während des Diffusionsprozesses genau einzustellen. Die E1200 HT 260-1 verfügt über eine robuste Edelstahlkammer-Konstruktion mit einer verbesserten Isoliereinheit für höchste Temperaturgleichmäßigkeit und Effizienz. Die einzigartige Gas-Wärmeverteilungstechnologie (GFT) bietet eine hohe Gleichmäßigkeit über das Substrat mit ausgezeichneter Temperaturstabilität. Darüber hinaus verfügt die Kammer über erweiterte Ätzfähigkeiten für Siliziumsubstrate. Sensorgesteuerte Thermoelemente innerhalb der Kammer dienen zur Überwachung und Regelung des Temperaturzustands in jeder Zone. Die E1200 HT 260-1 ist eine benutzerfreundliche Maschine, die die Möglichkeit bietet, Rezepte bequem direkt von der Hauptkontrollstation zu speichern, zurückzurufen und zu überarbeiten. Das Tool verfügt über die Fähigkeit, sich mit PC- und CAM-Systemen zur automatisierten Rezeptauswahl und Überwachung der Wafer während der Verarbeitung zu vernetzen. Darüber hinaus ermöglichen die austauschbaren Subsysteme ein einfaches Umschalten zwischen Diffusions- und Ätzprozessen in einer einzigen, kompakten Einheit. Centronic E1200 HT 260-1 ist ein idealer Diffusionsofen, der die höchsten Anforderungen an Halbleiterbauelemente erfüllt. Mit der Kombination aus ausgeklügelter Steuerung, zuverlässigem Kammerdesign und fortschrittlichen Prozessmerkmalen bietet die E1200 HT 260-1 eine hocheffiziente thermische Prozesssuite, die höchsten Anforderungen an die Anwendung gerecht wird.