Gebraucht CENTROTHERM Centronic E1200 HT260-3 #65626 zu verkaufen
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ID: 65626
Wafergröße: 6"
Weinlese: 2001
LPCVD diffusion furnace, 6”
3-Stack
Set up for: nitride, low-temperature oxide, and insitu low-temperature poly
Toxic gas exhaust
Control cabinet
Gas cabinet
(2) Quartz tubes
Spare parts
CE Marked
3rd position configured with heaters, no tubes
Internal diameter of the quartz tube: ~245mm (9-5/8")
Software:
IBM OS/2 warp V4 OEM preload
IBM Assy for PC ASS UK media pack WAR 0400 P/N: 65H1169A
Spare parts included in several boxes:
Flanges
Fittings
Parts for assembly of the system
Additional items available :
Ammonia purifier system (this may be part of the furnace system as the drawing does show a scavenger)
(2) Edwards Q61-51-006 dry pumps
Used Air products gas guard cabinets for:
Dichlorosilane (2 bottles + N2)
Silane (2 bottles + N2)
Ammonia (2 bottles + N2)
5% Phosphine & Nitrogen (2 bottles + N2).
No loading system
No Computer
No vacuum pumps
48 kW, 0 A, 50 Hz
Crated
2001 vintage.
CENTROTHERM Centronic E1200 HT260-3 ist ein Diffusionsofen und sein Zubehör für einen nahtlosen, effizienten und zuverlässigen Betrieb. Der Ofen verfügt über ein Molybdän-Heizelement aus hochwertigen Materialien für maximale Leistung. Dies gewährleistet eine lange Lebensdauer und eine gleichmäßige und gleichmäßige Temperatur für jedes zu bearbeitende Substrat. Die Centronic E1200 garantiert eine schnelle und effiziente Kühlung, reduziert den Energieverbrauch und steigert die Effizienz jedes Infrarotprozesses. Es ist in der Lage, die maximale Heiztemperatur von 1350 ° C in nur 30 Minuten zu erreichen und hat eine maximale Rampenrate von 8 ° C pro Minute, die eine schnelle und präzise Erhöhung oder Abnahme der Temperatur gewährleistet. Centronic E1200 HT260-3 hat eine beeindruckende kleine Stellfläche und ist sehr platzsparend und passt in nahezu jede Umgebung. Der Ofen ist mit einer inerten heißen Zone ausgestattet und eignet sich für die Verarbeitung gefährlicher Gase und Medien. Es unterstützt eine zweiteilige vakuumdichte Tür und verfügt über ein ausgezeichnetes Filtersystem, das alle Partikel und Verunreinigungen entfernt, um jedes Mal ein hochwertiges und sauberes Substrat zu gewährleisten. Die Centronic verfügt zudem über einen integrierten Punkt-zu-Punkt-Controller, der benutzerfreundlich und manuell steuerbar ist und die Bedienung und Programmierung über die On-Board-Touchscreen-Schnittstelle erleichtert. Es ermöglicht Benutzern, unterschiedliche Zieltemperaturen und -zeiten festzulegen und kann zur Verfolgung eines Prozesses verwendet werden, um eine konsistente Replikation zu gewährleisten. Der Ofen verfügt auch über ein flexibles Portsystem, das es ermöglicht, an mehrere Geräte und Zubehör wie die verschiedenen Kühl- und Abgassysteme angeschlossen werden, um die sichere und ordnungsgemäße Entsorgung der während des Prozesses erschöpften Dämpfe zu gewährleisten. Es koordiniert auch mit einer Vielzahl von Energiequellen und hat die Fähigkeit, unnötigen Energieverbrauch zu reduzieren. CENTROTHERM Centronic E1200 HT260-3 ist mit seiner robusten Konstruktion, seiner hervorragenden Leistung und Präzision eine ideale Wahl für die Verbreitung einer Vielzahl von Substraten, die ein hochwertiges Material mit ausgezeichneter Wiederholbarkeit gewährleisten. Es ist perfekt für Laborversuche, Verarbeitung und Produktion mit seiner ausgezeichneten Temperaturregelung und Drehzahlfähigkeit.
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