Gebraucht CENTROTHERM E 240 #293622222 zu verkaufen

CENTROTHERM E 240 ist ein Diffusions- und Zubehörpaket, das speziell für mittelgroße Halbleiterherstellungsanwendungen entwickelt wurde. Es bietet eine schnelle, kostengünstige Waferbearbeitung mit ausgezeichneter Gleichmäßigkeit und Partikelkontrolle. E 240 besteht aus einer temperaturgesteuerten, vertikal orientierten, horizontalen Ofenkammer, die auf einem starren Edelstahlsockel montiert ist. Die Kammer hat wärmeisolierte Legierungen Wände und Tür. Ein ringförmiges SiC-Heizelement wird in die Seitenwände gespritzt, während eine feuerfeste Basislinie für eine hohe thermische Gleichmäßigkeit sorgt. Die gesamte Kammer ist vakuumdicht, was eine partikelfreie Umgebung gewährleistet. Die Ofentür ist elektronisch mit der Steuerungseinrichtung verbunden, was eine maximale Sicherheit während des Betriebs gewährleistet und eine breite Palette von Steuerungsfunktionen bietet. Das System verfügt auch über eine elektronische Selbstschutzvorrichtung zum Schutz vor thermischem Auslauf, Prozessüberschuss und Overtemp. Die geringe thermische Masse der Kammerwände ermöglicht schnelle, effiziente Rampenraten und ermöglicht für einige Anwendungen Prozesszeiten von bis zu 3 Minuten. Eine präzise Temperaturregelung ermöglicht eine gleichmäßige und wiederholbare Verarbeitung mit +/-1degC Temperaturgleichförmigkeit auf Waferebene. Eine neue, hocheffiziente Spüleinheit liefert schnelle thermische Zykluszeiten und gleichmäßig niedrige Sauerstoffwerte. Bemerkenswert niedrige Prozesszeiten und niedrige Betriebskosten rechtfertigen den Kauf von CENTROTHERM E 240. Die fortschrittliche Steuerungsmaschine von E 240 bietet eine Reihe anspruchsvoller Steuerungsmodi, einschließlich mehrerer Programmschritte, Einzel- und Gruppenläufe, regionalisiertes Heizen und Kühlen mit benutzerdefinierten Verweilzeiten bei jedem Schritt. Die klare, intuitive Benutzeroberfläche vereinfacht die Bedienung weiter und bietet die Sicherheit, dass das Tool genau das tut, was es sagt. Darüber hinaus verfügt CENTROTHERM E 240 über ein umfangreiches Zubehör wie programmierbare Waferhalter, Quarzboote und Waferplatten, Temperatursensoren, Druckabgriffe und Auslassventile. Alle diese Komponenten garantieren und halten das höchste Niveau der Gesamtleistung. E 240 ist die ideale Wahl für mittelgroße und volumenstarke Halbleiterherstellungsprozesse. Es bietet schnelle Zykluszeiten, überlegene Temperaturregelung und ausgezeichnete Partikelkontrolle, alles mit der einfachen Bedienung und niedrigen Betriebskosten, die das Eigentum in jeder Produktionsumgebung attraktiv macht.