Gebraucht CENTROTHERM E1550 HT 260-4 #9260101 zu verkaufen
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ID: 9260101
Wafergröße: 6"
Weinlese: 2016
Horizontal furnace, 6"
(4) Stacks
(4) Tubes configuration:
LPCVD LTO-PSG
LPCVD HTO
POCl3 Diffusion
Wet oxidation
Heating element: 100-600°C
Flat length: 600 mm
Diameter: 260 mm
(5) Heating zones
Heating element: 400°C-1050°C
Flat length: 600 mm
Diameter: 260 mm
(5) Heating zones
(2) Heating elements: 600-1300°C
Flat length: 600 mm
Diameter: 260 mm
(5) Heating zones
Furnace cooling system: Integrated gas system for DCS: HTO / TEOS process
(3) Standard cooling systems:
Tube closed cycle water cooling system
CENTROTHERM Machine Interface (CMI)
Graphical user interface
(4) Furnace control systems (Field bus: CAN)
(4) Temperature measurements
(4) REG 97 Temperature controllers
Fuzzy enhanced PID control
(4) Cascade temperature controls
(4) Profiling elements
For (5) zone heating elements: Type R
Security system CMS
Independent for up to (4) tubes
Automatic pressure tightness system for closed tube systems
Scavenger
(2) Tube closures
Closed tube for soft landing system
Vacuum door for soft landing system
(4) Tube loading systems:
For soft landing process boat
Gas system cabinet GVS
With main gas lines for N2, O2, H2, SiH4, SiH2Cl2, PH3, N2O
Gas / Vacuum system: LPCVD: LTO-PSG
Gas lines: N2, SiH4 (Rear), PH3 (10% in Ar) (Front, rear), O2 (Front, rear) without vacuum pump
Gas / Vacuum system: LPCVD: HTO
Gas lines: N2, SiH2Cl2 (front, rear), N2O (front, rear), without vacuum pump
Gas system: POCL3 Diffusion
Gas lines: N2, N2 (POCl3), O2, O2 (High)
Gas system: Wet oxidation (Hydrox - ext. torch, DCE – TransLC)
Gas lines: N2, O2, H2, N2O, N2 (DCE), O2 (DCE)
Laminar flow system:
For vertical flow
Process boat lift
Without storage and controlling computer, 6"
Process boat storage
Storage positions plus one manual loading storage, 6"
Loading port
Process boat transfer system
Flat aligner
Power supply: UPS10
No auxiliary equipment
2016 vintage.
CENTROTHERM E1550 HT 260-4 Diffusionsofen ist ein professionelles Gerät, das für eine Vielzahl von Schüttkristallwachstumsprozessen entwickelt wurde. Es ist ideal für Materialien, die hohe Temperaturen für großes Wachstum benötigen, wie Galliumarsenid, Silizium und Nitride. Dieser Vier-Zonen-Ofen kann Temperaturen bis zu 1300 ° C erreichen und ist für die Gasförderung oder direkte Kontaktheizung ausgelegt. Der zentrale Teil des Ofens besteht aus einem kettengetriebenen Drehherd, in dem die vier Heizzonen untergebracht sind. Diese sind unabhängig voneinander für eine präzise Temperaturregelung über das gesamte Materialvolumen steuerbar. Die vier Heizzonen können entweder mit Gas- oder elektrischen Heizelementen als Energiequelle betrieben werden. Die Gasfördereinrichtung besteht aus einem Dreiwegeventil zur Steuerung des Brenngasstroms in jede der Heizzonen. Darüber hinaus verfügt CENTROTHERM E1550 über ein endothermes Gaseinspritzsystem zur schnellen Kühlung. Der Ofen umfasst eine zweistufige Umlufteinheit, die für jede Zone mit separaten Stapelventilatoren ausgestattet ist. Die Ventilatoren sorgen für eine Volumenkühlung sowie eine Umwälzung von Heißluft zur gleichmäßigen Erwärmung über das gesamte Materialvolumen. Zusätzliche Sicherheitsmerkmale wie eine Inline-Nothaltetaste, akustische und optische Alarme sowie Thermoelemente zur Flammenüberwachung erhöhen die Sicherheit der Maschine weiter. E1550 Diffusionsofen HT 260-4 verfügt über Gas- und elektrische Anschlüsse sowie detaillierte Bedienungsanleitungen. Für optimale Leistung und Effizienz empfehlen wir die Kopplung mit CENTROTHERM passenden Supportzubehör, darunter Feuerfestgeräte, Rohrleitungen und andere Zusatzgeräte. Dieses Zubehör ermöglicht eine noch genauere Kontrolle der Brennparameter des Ofens und stellt sicher, dass Ihre Arbeit von höchster Qualität ist. Abschließend ist der Diffusionsofen CENTROTHERM E1550 HT 260-4 eine ideale Wahl für eine Vielzahl von Schüttkristallwachstumsprozessen. Seine fortschrittlichen Funktionen und umfassenden Sicherheitssysteme machen es zum Startgerät für jede Anwendung, die hohe Temperaturen und eine präzise Kontrolle erfordert.
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