Gebraucht CENTROTHERM VLO 180-H2 #9255736 zu verkaufen

CENTROTHERM VLO 180-H2 ist ein Diffusionsofen und Zubehör aus der Produktfamilie CENTROTHERM VLO. Dieses Produkt ist für Elektronikanwendungen konzipiert und bietet eine hohe Genauigkeit in der Temperaturregelung über alle Ebenen des Heiz- und Kühlkreislaufs. VLO 180-H2 ist für metalorganische Dampfphasen-epitaktische Wachstumsprozesse optimiert, die häufig in der Mikroelektronik und Optoelektronik eingesetzt werden. Der modular aufgebaute CENTROTHERM VLO 180-H2 besteht aus einem Heißwandofen mit einer Grundplattenlänge von 1800 mm und einem DM-210 Hauptregler, der unabhängig oder mit bis zu drei zusätzlichen Modulen betrieben werden kann. Es bietet eine breite Palette von Prozesstemperaturen von 300 ° C bis 1300 ° C mit der Fähigkeit, mehrere thermische Zonen zu überwachen, so dass es für verschiedene Anwendungen und Prozesse geeignet ist. Die verlängerte Länge der Hotwall, kombiniert mit der selbsttransportablen Boden- und Gasverteilerkammer, macht sie zuverlässig und effizient. VLO 180-H2 ist mit einem CVD-Leistungspaket ausgestattet, das Mehrzonensensorwiderstände, Vorder-/Rückspülung und Oben/Unten-Gasventile mit Durchflussmessern aus Edelstahl sowie ein optimiertes thermisches Profil für reduzierte Beanspruchung umfasst. Das fortschrittliche Thermoprofil besteht aus vier vordefinierten Temperaturstufen für hochqualitative Epitaxiefolien. Es verfügt auch über eine Acht-Zonen-Heizung mit 25 Watt/cm ² Verlustleistung und Dual-Wäscher-Kombination. Das Design umfasst ein Top-Down-Suszeptor-Liftsystem für die tägliche Wartung sowie einen variablen/einstellbaren Suszeptor-Durchmesser für optimale Homogenität. CENTROTHERM VLO 180-H2 verfügt über ein hochgenaues Temperaturregelsystem und ist mit einer zuverlässigen Integration von Prozessparametern, mit einem Graphit-Suszeptor für höhere Temperaturhomogenität sowie elektrischen Messungen zur besseren Steuerung des thermischen Zyklus ausgelegt. Die Kompaktheit und Flexibilität von VLO 180-H2 eignen sich für eine Vielzahl von Anwendungen in der Elektronikindustrie mit Funktionen wie einem Fernüberwachungssystem für die Online-Prozessdiagnose und einer automatischen Schnittstelle, die vereinfachte Prozesse und qualitativ hochwertige Ergebnisse ermöglicht.