Gebraucht CETC SYQ-150TS #9076766 zu verkaufen

CETC SYQ-150TS
ID: 9076766
Quartz cleaning machine Nitrogen pressure : 0.3 ~ 0.35 mPa.
CETC SYQ-150TS ist ein Diffusionsofen und begleitendes Zubehör für Hochtemperaturbetrieb in der Halbleiterindustrie. Zu den Merkmalen dieses Produkts gehören hohe Temperaturhaltbarkeit, Temperaturgleichmäßigkeit und konsistente Ergebnisse. Die Ofenbohrungen bestehen aus Graphit, einem reichlich kohlenstoffhaltigen Material, das eine Beständigkeit gegen hohe Temperaturen bis 2,800˚C bietet und inert und nicht korrosiv ist. Außerdem sind die Graphitbohrungen gegenüber thermischem Schock beständiger als Metall. Die Bohrungen sind auch präzise bearbeitet, um eine Mikron-Genauigkeit zu gewährleisten. Der Diffusionsofen nutzt die Luftkühlung mit einem Zwangsluftkonvektionsventilator, um sicherzustellen, dass die Kühlleistung optimal für die beste Leistung bleibt. Das Luftkühlsystem behält eine Temperaturgleichförmigkeit von ±2˚C bei. Der Ofen Verarbeitungsbereich ist gleichmäßig in der Temperatur und es kann bis zu 2,200˚C erwärmen. Seine Geschwindigkeit der Temperaturerhöhung ist 20˚C - 40˚C/min und es hat eine digitale Anzeige, die eine Echtzeit-Ablesung der Temperatur zeigt. Die Frontplatte hat auch eine Steuerung, die es dem Benutzer ermöglicht, einfach die entsprechende Temperatur für den Prozess einzustellen. Der Heizmechanismus arbeitet mit einem Vier-Zonen-Heizelement, so dass der Benutzer jede Heizzone einzeln steuern kann, wodurch das Temperaturprofil optimiert wird. Die Vierzonenheizung sorgt dafür, dass die Temperaturgleichförmigkeit über den gesamten Bearbeitungsbereich erhalten bleibt. Es hilft auch, das Substrat auf einer gleichmäßigen Temperatur zu halten und verhindert die Bildung von Hot Spots. Der untere Herd dient zum Transport von Wafern und besteht aus einem hitzebeständigen Material, das einen thermischen Abbau verhindert. Der keramische, wassergekühlte Bodenherd ist so konzipiert, dass er eine Verfärbung von Wafern oder Verpackungsmaterialien verhindert und es dem Benutzer ermöglicht, Hochtemperaturoperationen durchzuführen, ohne dass die Gefahr einer Überhitzung der Wafer besteht. Darüber hinaus ist SYQ-150TS mit einem International Standard Compliance Druckregler ausgestattet, der es dem Anwender ermöglicht, den Ofen bei Bedarf zu entspannen. Der Druckregler verhindert eine Überdruckbeaufschlagung des Ofens, wodurch der Ofen zu heiß wird. Zusätzlich zu diesen Eigenschaften kommt CETC SYQ-150TS mit einer Vielzahl von Zubehör, wie Rohröfen, Quarzröhren, isotherme Schilde und andere verschiedene Werkzeuge. Zusammen sind SYQ-150TS Diffusionsofen und das dazugehörige Zubehör darauf ausgelegt, eine Vielzahl von Prozessen mit Präzision und Gleichmäßigkeit durchzuführen.
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