Gebraucht DIRE 10 #9119220 zu verkaufen
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ID: 9119220
Wafergröße: 5"-8”
Weinlese: 1992
Furnace, 5"-8”
(2) Tubes of LPCVD (Flat Poly & BPSG)
(2) Tubes of Wet Ox
7680 Loaders
Direction Saddles and Door Closures
Breakers in Offset Shroud
ASEA Breakers
2962044 cores, 1150C max on tubes 1 & 2 (Wet Ox)
2962079 cores, 1000C max on tubes 3 & 4 (Poly & PSG)
Transformers ok for 8” and/or high temp
Setup for 5” wafers. Can be upgraded to 8”
7630 Temp Controllers
Internal Torch (Tube 1)
Old style 7618 External Torch (Tube 2)•
(2) Schumacher ATCS15 Bubbler controllers for TCA
Unit 1100 and 2020 MFCs
Internal UPS
Individual Input and Output modules
Bulkhead cabling
55x22 Software
(2) 7900 Atmospheric Gas Modules (tubes 1 & 2)
(2) 8100 LPCVD Gas Modules (tubes 3 & 4)
Pumps, fore lines, vacuum components for the two LPCVD tubes are not included
1992 vintage.
DIRE 10 ist ein Diffusionsofen und dazugehöriges Zubehör, das zur Herstellung von Silizium (Si) und dotiertem polykristallinem Silizium (DPSC) verwendet wird. Der Ofen und sein Zubehör sind wertvolle Werkzeuge für die Entwicklung von Hochleistungshalbleitern. 10 Ofen kann bei Temperaturen bis zu 1150 ° C arbeiten und kann bis zu 30 Stunden verarbeiten. Es ist mit einer fortschrittlichen automatischen Steuerung ausgestattet und verwendet nahtlose Heiz- und Kühlsysteme, um Präzision und Effizienz zu gewährleisten. Dieses System ermöglicht eine enge Temperaturregelung und zuverlässige Ergebnisse. Der Ofen ist auch mit automatisierten Quarz- und Aluminiumoxid-Tiegelsystemen ausgestattet, um eine gleichmäßige Erwärmung und homogene Dotierung zu gewährleisten. Diese Einheit ermöglicht eine hervorragende Bleidotierung durch Stickstoff-, Phosphor- und Borvorläufer sowie Germanium-Dotierung. Der Tiegel wird von einer Hochleistungslampe angetrieben und kann bis zu 7.5kW/cm2 effizient verteilte Leistung erzeugen. Das Zubehör der Öfen umfasst Quarz- und Aluminiumoxid-Verbrauchsmaterialien sowie Zusatzkomponenten, die auf optimale Leistung und Sicherheit ausgelegt sind. Die Verbrauchsmaterialien aus Quarz und Aluminiumoxid sollen eine Verschmutzung des Ofens verhindern und sicherstellen, dass keine Gase und Reagenzien gemischt werden. Die Zusatzkomponenten ermöglichen das effiziente Befüllen und Entleeren des Ofens sowie die präzise Steuerung der Tiegeltemperaturen. DIRE 10 enthält auch eine Gas- und Reagenzliefermaschine, die eine genaue Durchflusskontrolle und konsistente Ergebnisse liefert. Dieses Tool ist vollständig automatisiert und verwendet fortschrittliche Sensoren und Controller, um eine präzise Bedienung und zuverlässige Ergebnisse zu gewährleisten. 10 wurde entwickelt, um den Anwendern einen zuverlässigen und effizienten Diffusionsprozess zu bieten, der zu hohen Erträgen und gleichbleibend ausgezeichneter Materialqualität führt. Mit seiner hochpräzisen Temperaturregelung, effizienten Quarz- und Aluminiumoxid-Verbrauchsmaterialien und automatisierten Gas- und Reagenzien-Lieferung sorgt DIRE 10 für konsistente Hochleistungsergebnisse.
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