Gebraucht ESPEC PHC-111M #9352229 zu verkaufen

ESPEC PHC-111M ist ein Diffusionsofen für die Verarbeitung von großflächigen Halbleiterscheiben. Ausgestattet mit einer HTP-Membran (High Temperature Performance) ist sie ein ideales Werkzeug für die Verarbeitung von LSI-Substraten und Hochtemperaturglühanwendungen. Mit einem Temperaturbereich von 100 bis 1100 ° C ist PHC-111M in der Lage, Temperaturen in einem Bereich von 0,1 ° C über eine Vielzahl von Halbleitermaterialien hinweg genau zu steuern und zu halten. Sein Heizelement, ein Hochleistungsfaden mit 5.000 Watt, kann sowohl hohe als auch niedrige Temperaturen für eine genaue Strukturierung liefern. Um eine konstante Temperaturverteilung zu gewährleisten, ist ESPEC PHC-111M mit einem Abluftventilator ausgestattet, der Wärme gleichmäßig in der gesamten Heizkammer zirkuliert. Mit einer 45-Liter-Kapazität können PHC-111M bis zu 8-Zoll-Halbleiterscheiben oder -substrate in Massenproduktion verarbeiten. Darüber hinaus sorgt sein keramischer Innenraum für minimale Oxidation und Verschmutzung bei der Verarbeitung. Das Gerät ist auch für verschiedene Geräte wie Quarz- und Graphitboote, Gastabletten und Dünnschichtüberwachungsgeräte ausgelegt. Um die Genauigkeit und Wiederholbarkeit weiter zu verbessern, kommt ESPEC PHC-111M mit einem eingebetteten Mikrocomputer-Controller mit der Fähigkeit, die Temperatur der Heizkammer, die Heizleistung und die Parameter einzustellen. Der Controller konzentriert sich auf den Nachweis von Gleichmäßigkeit, Präzision und Zuverlässigkeit und umfasst Funktionen wie PID-Steuerung, Temperaturmessung, Streifendiagramm, Selbstdiagnose und Zeitalarmfunktionen. Sicherheitstechnisch verfügt PHC-111M auch über einen Erdbebendetektor, Unterbrechungs- und Kurzschlussschutz sowie ein Verriegelungssystem, das ein Öffnen des Ofens während des laufenden Betriebs verhindert. Die Einheit verwendet auch ein Time-Sharing-System, bei dem mehrere Programme gleichzeitig programmiert und ausgeführt werden können, was Gleichmäßigkeit und Zuverlässigkeit bei Massenproduktionsanwendungen ermöglicht. Schließlich ist ESPEC PHC-111M mit einer Reihe von Zubehör ausgestattet, darunter ein Quarzbeobachtungsfenster, hochansprechendes Pyrometer, Thermoelement, Stromkabel, PC-Anschluss und Thermoelement-Datenlogger. Es bietet auch ein externes Graphit-Heizmodul für erhöhte Prozessgenauigkeit und Flexibilität.