Gebraucht EUGENE BJM3000 #9311273 zu verkaufen
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EUGENE BJM3000 ist ein Diffusionsofen und Zubehör für die Diffusion verschiedener Materialien, die in Industrien wie der Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet werden. Das System besteht aus drei Hauptkomponenten: dem Hauptofen, der Diffusionskammer und dem Zusatzzubehör. Der Hauptofen von BJM3000 verfügt über eine große thermische Masse und kann einen Temperaturbereich von 0 bis 1650 ° C bereitstellen. Es verfügt über zwei Siliziumcarbid (SiC) Heizelemente mit unabhängigen Leistungsreglern, die eine präzise thermische Steuerung liefern. Der Hauptofen ist außerdem mit zwei Vakuumpumpen, einem Inertgaseinlass und einem Abgasentlüfter für eine verbesserte Wartung der Prozessatmosphäre ausgestattet. Die Diffusionskammer kann bei Temperaturen zwischen 480 ° C und 1050 ° C diffundieren. Die Kammer beherbergt eine mehrzonige Quarzherdplatte, die als Quelle für Prozessmaterial dient. Die Quarzherdplatte ist so ausgelegt, dass die Diffusionsgase gleichmäßig mit Prozessscheiben interagieren können. Die Zusatzzusatzeinheit in EUGENE BJM3000 umfasst einen Gaseinlagenkasten zur Gasverteilung und -einspritzung, einen Dampfeinspritzkrümmer und eine Gasreinigungsmaschine für beide Gase in der Prozesskammer und Abgase aus dem Werkzeug. Es verfügt auch über eine Fernüberwachungs- und Steuerungskonsole mit grafischer Benutzeroberfläche, die bei Bedarf dynamische Reaktionsanpassungen ermöglicht. BJM3000 bietet eine Reihe optimierter Lösungen, von Ultra-Tieftemperaturöfen bis hin zu Hochtemperaturdiffusionen. Sein effizientes Thermomanagement bietet leistungsstarke, zuverlässige und kostengünstige Diffusionslösungen für die Produktion von High-End-Halbleiterbauelementen.
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