Gebraucht FUJIFILM TC 2000 #9399084 zu verkaufen
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ID: 9399084
Temperature controller
ASM Digital process control assembly
ASM Digital temperature controller assembly
Mass flow controller.
FUJIFILM TC 2000 ist ein Diffusionsofen und zugehöriges Zubehör, das hauptsächlich in der Halbleiterherstellung verwendet wird. Sie soll die erfolgreiche Abscheidung extrem dünner metallischer Schichten auf Siliziumscheiben gewährleisten. TC 2000 verfügt über eine Primärkammer mit vier Zonen aus Edelstahl und eine Sekundärkammer mit zwei getrennten Zonen. Im Inneren der Primärkammer befindet sich eine wärmeisolierte, selbstdichtende Wärmedämmung und eine Gasstrom-Abgasanlage. Die vier Zonen können unabhängig voneinander gesteuert werden und dienen zur Durchführung verschiedener Verfahrensschritte, wie Oxidation, Nitrierung und Tiefenschichtdiffusion. FUJIFILM TC 2000 verwendet eine Reihe von Widerstandsheizelementen, die direkte elektrische Energie erzeugen, die in Wärmeenergie umgewandelt wird. Dies wird auf die Wärmedämmschicht übertragen, was eine gleichmäßige und gleichmäßige Wärmeverteilung gewährleistet. Die Temperaturen der einzelnen Heizelemente werden über einstellbare Temperaturregler gesteuert, um einen konsistenten Prozess zu gewährleisten. Ein fortschrittliches SPS-basiertes Regelungssystem verwaltet die Programmierung und den Betrieb von TC 2000. Dazu gehören PID-gesteuerte Prozessraumtemperaturen, Türoperationen und Alarmmanagementfunktionen. Eine benutzerfreundliche Touchscreen-Oberfläche macht die Programmierung FUJIFILM TC 2000 schnell und einfach. TC 2000 eignet sich für eine breite Palette von Anwendungsszenarien, wie für Filmwachstum, Aktivierungsreflow, Dotierstoffdiffusionen und Vorwärmebehandlungen. Es ist auch für die Verwendung mit einer breiten Palette von kompatiblen Zubehör wie Wärmeschutz, durchgehende Wellen und abnehmbare Vakuumanschlüsse, so dass es in einer Vielzahl von Einstellungen verwendet werden. In seiner Standardkonfiguration wird FUJIFILM TC 2000 mit einem Mitsubishi-Controller, Diffusionsaufzügen und Mesh-Heizelementen geliefert, um eine präzise Schichtdickenregelung zu ermöglichen. Es enthält auch eine Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen, wie eine Entlüftungsöffnung für verdampftes Gas, eine Sicherheitsverriegelung und ein Pyrometer für die Temperaturmessung. Insgesamt ist TC 2000 ein zuverlässiger und leistungsstarker Diffusionsofen, der den höchsten Fertigungsanforderungen gerecht wird. Durch die Vorteile seiner fortschrittlichen Steuerungs- und Heizelemente kann FUJIFILM TC 2000 verwendet werden, um durchweg dünne und komplexe metallische Schichten mit hoher Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu liefern.
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