Gebraucht GASONICS / NOVELLUS HIPOX 6000 #293758592 zu verkaufen

GASONICS/NOVELLUS HIPOX 6000 ist ein hochleistungsfähiger, automatisierter Diffusionsofen, der speziell für die Halbleiterherstellung entwickelt wurde. Es ist eine Mehrzonenausrüstung mit unabhängiger Temperaturregelung jeder Zone, die bis zu 1200 ° C für thermische Diffusion, Oxidation, Glühen, schnelle thermische Verarbeitung und andere verwandte Verarbeitung erreichen kann. GASONICS HIPOX 6000 kann Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 8 "aufnehmen und bietet mehrere Optionen für die Prozessgaslieferung. NOVELLUS HIPOX 6000 enthält eine Graphit-Kaltkappe mit integriertem In-situ-Reinigungsschild, mit dem Partikel, die in die Ofenkammer gelangen und bereits vorhandene Partikel vermindern können. Der Ofen ist mit einem mittig montierten, programmierbaren Zwei-Zonen-Förderband ausgestattet, das entweder manuell oder automatisch für die Chargenbearbeitung arbeitet. Das Band ist in der Lage, bis zu 12 Wafer zu jeder Zeit laufen. Es bietet auch eine Option für eine Abkühlkammer zur schnellen Kühlung mit externen Ventilatoren. Das integrierte Steuerungssystem für HIPOX 6000 besteht aus einem industriellen PC-Kern mit einer benutzerfreundlichen Touchscreen-Schnittstelle. Es ist in der Lage, bis zu 100 Rezepte zu speichern und kann bis zu 32 Wafer-Lose für einen einfachen Rückruf speichern. Die Steuereinheit ermöglicht es Benutzern, jede Zone unabhängig zu überwachen und einzustellen, was eine präzise Prozesssteuerung ermöglicht. GASONICS/NOVELLUS HIPOX 6000 ist ein fortschrittlicher Ofen, der hohe Leistung mit zuverlässiger Temperaturregelung und geringen Partikelerzeugungsfähigkeiten liefert. Sein fortschrittliches Design ermöglicht es, kundenspezifische Rezepte mit seinen In-situ-Reinigungsfunktionen durchzuführen. Es hat auch die Kapazität für hohen Durchsatz mit seiner 12-Wafer-Kapazität pro Lauf und schnelle Abkühlung Fähigkeit. Die integrierte Steuerungsmaschine bietet Anwendern die Möglichkeit, die Prozessparameter genau und zuverlässig zu überwachen und anzupassen.