Gebraucht GASONICS / NOVELLUS HIPOX #293770796 zu verkaufen

GASONICS/NOVELLUS HIPOX ist ein hochentwickelter Diffusionsofen, der speziell für die Anforderungen der Halbleiterbauelementherstellung entwickelt wurde. Diese Ausrüstung arbeitet durch Verdampfen eines festen Materials, wie Silizium, auf einer Oberfläche entweder durch eine chemische oder physikalische Aufdampfung (CVD/PVD) Prozess. Der Verdampfungsvorgang bzw. „Diffusion“ wird in einer inertgashaltigen Vakuumkammer durchgeführt. Die Oberflächen des zu beschichtenden Substrats werden auf einer kontrollierten Temperatur gehalten, während das verdampfte Material auf sie getrieben wird. Das System basiert auf einem geschlossenen Warmrahmen-Design, in dem die Prozesskammer auf einem Rahmen montiert und durch zwei interne Heizelemente beheizt wird. Die Heizung wird über ein in die Kammer eingebrachtes Inertgasgemisch gesteuert und die Dämpfe werden über eine teilweise vakuumierte Abgasanlage abgeführt. Durch die Kammer wird verdampftes Material mittels einer Heißgasdynamikmaschine angetrieben, was eine gleichmäßige Verteilung des Materials über die Oberfläche gewährleistet. Das GASONICS HIPOX-Tool bietet eine Vielzahl von Prozessmöglichkeiten, mit denen der Benutzer seine Prozessbedingungen genau auf seine spezifische Anwendung abstimmen kann. Es wird mit integrierten Prozessüberwachungs- und Steuerungsfunktionen unterstützt, die in der Lage sind, Detektoren in der Kammer anzupassen, um Parameter des Prozesses wie Druck, Temperatur und Gasstrom zu überwachen. Die Anlage wird durch eine eigene, unabhängig gesteuerte dreiphasige Stromversorgung angetrieben. Das robuste Design des NOVELLUS HIPOX-Modells sorgt für hohe Prozessausbeuten und liefert eine hervorragende mikropräzise Abscheidung. Darüber hinaus bietet das Gerät zwei Ofenheizfunktionen - Blitzerwärmung für kurzfristige Anwendungen und Bodenheizung für präzisere Langzeitanwendungen. Das System verfügt außerdem über eine Vorwärmkammer, um sicherzustellen, dass die Prozesstemperaturen konstant gehalten werden. HIPOX Diffusionsofen ist eine gut konstruierte und hocheffiziente Einheit, die eine wiederholbare dynamische Beschichtung für hochpräzise Bauteilherstellung bei hohen Geschwindigkeiten bereitstellt. Es kann eine breite Palette von Substratgrößen aufnehmen und angepasst werden, um die strengsten Prozessanforderungen zu erfüllen. Seine umfassende Prozessüberwachung und Steuerungsfähigkeit erhöht seine Effizienz, während die Rahmenkonstruktion und die robuste Konstruktion eine zuverlässige Leistung gewährleisten. Diese Maschine ist ideal für Anwendungen, die eine hohe Präzision und Wiederholbarkeit sowie eine hochwertige Oberflächenveredelung erfordern.