Gebraucht GT SOLAR 1001057 #9236065 zu verkaufen
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GT SOLAR 1001057 ist ein Diffusionsofen und Zubehör, mit dem präzise, wiederholbare Ergebnisse in kontinuierlichen Produktionsprozessen erzielt werden. Es ist ein niedriger Temperatur, vertikale Wandofen für High-Through-Put-Fertigungsanwendungen entwickelt. Um die gewünschten Ergebnisse zu erzielen, verwendet 1001057 Ofen eine Kombination verschiedener Gase, Temperaturen und Drücke, um feste Materialien auf Halbleiterscheiben mit chemischem Sauerstoffbedarf (CSB) abzuscheiden. Diese Materialien werden bei der Herstellung von integrierten Schaltungen und Transistoren verwendet. GT SOLAR 1001057 umfasst einen Plasmadichtemonitor, eine glühbare Gasausrüstung (Annealable Gas Equipment, AGS) für eine einheitliche Atmosphärenkontrolle, zwei und vier Stationssensoren und einen Pro-Run Software Controller für eine vollständige Prozesssteuerung. Dieses System hat die Fähigkeit, sowohl nasse als auch trockene Prozesse zu betreiben und bietet eine Hochtemperatur-Thermoprofilierung von Wafern während des gesamten Diffusionsprozesses. 1001057 enthält auch eine Ofenladeraum und viele andere Zubehör. Die Ladekammer sorgt für Gleichmäßigkeit und verbesserte Reproduzierbarkeit, während die glühbare Gaseinheit (AGS) zur Steuerung der Atmosphäre des Diffusionsprozesses verwendet wird. Darüber hinaus ermöglicht die Pro-Run Software eine automatisierte Überwachung und Echtzeit-Datenanalyse. Um die Qualität des Prozesses sicherzustellen, kann die Maschine Echtzeit-Wafer-Mapping-Techniken integrieren, um die genauen Temperatur- und Dotierbedingungen des Diffusionsprozesses zu überwachen. GT SOLAR 1001057 bietet präzise Wiederholbarkeit mit Gleichmäßigkeit über den Wafer. Es ist in der Lage, bis zu vier Wafer in verschiedenen Größen zu warten. Es kann mit einer Vielzahl von Gasen wie Lachgas, Stickstoff und Argon betrieben werden, wodurch es für eine Vielzahl von Gasen und Materialchemikalien geeignet ist. Dieses Werkzeug ermöglicht auch eine präzise Temperaturprofilierung von 50 bis 1000 Grad Celsius mit maximalen Rampenraten bis 200 ° C/Minute, wobei sich die Wiederholbarkeit durch automatisierte Tuning- und Autoscaling-Funktionen ergibt. Insgesamt ist 1001057 Asset eine ausgezeichnete Maschine für kontinuierliche Produktionsprozesse, die eine hohe Präzision und Wiederholbarkeit erfordern. Die Kombination der Komponenten sorgt für ein einheitliches und vorhersehbares Ergebnis. Mit seinem breiten Leistungsspektrum ist es eine ideale Wahl, wenn qualitativ hochwertige Diffusionsergebnisse schnell und effizient erzielt werden müssen.
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