Gebraucht GT SOLAR 513349 #9236055 zu verkaufen
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GT SOLAR 513349 ist ein Diffusionsofen und Zubehör, das für die Herstellung von hochwertigen und zuverlässigen kristallinen Silizium-Solarwafern entwickelt wurde. Das Produkt besteht aus einer inneren Kammer und einer äußeren Kammer, wobei die äußere Kammer aus einer Abgasanlage, einem Niederdruckwasserkrümmer und einem verstellbaren Entlastungsventil besteht. Es weist auch zwei Induktionsspulen zur Diffusion von Phosphor, Bor und anderen Materialien in das Siliziumsubstrat auf. Der Diffusionsofen verwendet eine Induktionsheizung in Kombination mit einer abgedichteten Kammer- und Wasserkühlung, um eine präzise Temperatur- und Atmosphärensteuerung zu gewährleisten. Die Induktionsheizmaschine ist in der Lage, eine maximale Temperatur von 1670 ° C (3038 ° F) für die Siliziumdiffusion bereitzustellen und wird von einer computergesteuerten SPS/Steuereinheit mit einem Touchscreen-Display gesteuert. Der Ofen arbeitet bei einem Vakuum von 10-2 mbar und verfügt über ein Gasgemisch aus Stickstoff, Argon und Sauerstoff mit einem DEOS-Werkzeug. Dadurch wird eine Oxidation während der Diffusion verhindert. Der Ofen ist mit einer Membranpumpe ausgestattet, um seltene Gase aus der Kammer zu pumpen und einen niedrigen Sauerstoffgehalt im Hintergrund aufrechtzuerhalten. Der aus den thermodynamischen Modellen berechnete Siliziumdampfdruck dient zur genauen Vorhersage der Temperatur während der Diffusion. Das Produkt verfügt auch über eine buchsenförmige Gaszufuhr, die Bor, Phosphor und andere Materialien in die Diffusionskammer injiziert. Das Material wird mit Präzisionsmesssystemen dosiert. Das Produkt hat ein 180mm Durchmesser Lanthansilikat Boot, das durch ein elektromechanisches Positionierungsmodell gesteuert wird. Zur Sicherheit umfasst das Produkt auch eine Nothalteeinrichtung sowie verschiedene Sicherheitsventile und Entlastungsventile, die eine Überdruckbeaufschlagung der Kammer verhindern. Die Außen- und Innenkammerwände sind aus hochwertigem Edelstahl 304 gefertigt, und die fünfseitige pyramidenförmige Abdeckung sorgt für ausreichende Mengen an gleichmäßiger Heizung und maximalen Wirkungsgrad. Das Produkt ist eine ausgezeichnete Wahl für die Herstellung von hochwertigen und zuverlässigen Silizium-Solarscheiben. Die Kombination aus Präzision und Genauigkeit des Diffusionsofens in Kombination mit dem hülsenförmigen Gaszufuhrsystem führt zu einer präzisen Steuerung der Temperatur und der korrekten Menge an Materialeintrag für die solare Waferproduktion. Das Produkt erfüllt Sicherheitsvorschriften und ist hocheffizient und eignet sich somit für die Herstellung einer breiten Palette von Solarwafern.
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