Gebraucht GT SOLAR 513349 #9236074 zu verkaufen

GT SOLAR 513349 ist ein Diffusionsofen und zugehöriges Zubehör, das verwendet wird, um Halbleitermembranen zu bilden, Wafer zu verbinden und Metallisierungsschichten zu erzeugen. Als das neueste in einer Reihe von Produkten in GT SOLAR 51334x Diffusionen Serie, 513349 bietet eine verbesserte Reihe von Funktionen im Vergleich zu seinen Vorgängern. GT SOLAR 513349 bietet eine Arbeitsfläche von nicht weniger als 2.500mm2 und eine maximale Substratgröße von 125mm, so dass größere Prozesse ohne zusätzliche Vorrichtungen ausgeführt werden können. Unterstützt Temperaturen bis zu 1150 ° C, 513349 ist in der Lage, PECVD, PVD, ALD und andere fortschrittliche Techniken. Der Ofen kann entweder mit Stickstoff, Argon, Wasserstoff oder Heliumatmosphäre oder einer beliebigen Kombination davon verwendet werden. Das Energie/Oxid-Verhältnis ist in 5 Schritten von 500:1 bis 2500:1 einstellbar, um die Zellpegelmodulation vollständig zu steuern. Es können 10 verschiedene Stromverteilungen eingestellt werden, wobei bis zu 5 externe HF-Quellen zur Verfügung stehen. GT SOLAR 513349 verfügt zudem über einen Reinraum der ISO-Klasse 5, der sicherstellt, dass der Prozessbereich frei von äußeren Verunreinigungen bleibt. Es gibt auch einen integrierten Sekundärvakuum von 1 mT mit einer Auflösung von 1 x 10-6 mbar, sowie eine Grundplatte Temperatur einstellbar von 25 ° C bis 200 ° C. In Bezug auf zusätzliche Sicherheit kommt 513349 mit mehreren Notabschaltungssystemen, einschließlich Stromabschaltungen über Inspektionsfenster, Ofenunterbrechung, Temperaturbegrenzer und Wärmeschockschutz. Das Modell enthält auch eine 2,5 cm dicke Aluminiumoxidplatte für einfache Reinigung und Wartung sowie eine Gaskassette mit einzelnen Gaseinlässen, -auslässen und -speichern für Stickstoff und Argon. Insgesamt ist GT SOLAR 513349 ein vielseitiges spezialisiertes Diffusionsofen und Zubehörpaket, das für industrielle Prozesse in einer Reihe von Halbleiter- und Metallisierungsschichten entwickelt wurde. Es hat sich nicht nur als zuverlässig und präzise erwiesen, sondern bietet auch eine Reihe von Sicherheitsmaßnahmen und ist damit die bevorzugte Wahl für viele Verarbeitungsprofis.