Gebraucht HIKE DJ1223V CX3 #9262170 zu verkaufen

HIKE DJ1223V CX3
ID: 9262170
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
Diffusion systems, 12" 2006 vintage.
HIKE DJ1223V CX3 Diffusionsofen ist ein voll integrierter vertikaler Diffusionsofen, der für die Entwicklung und Produktion von Hochleistungsprozessen konzipiert ist. Es ist mit einer Vielzahl von Funktionen ausgestattet, die die Geschwindigkeit und Genauigkeit des Diffusionsprozesses erhöhen. Der Ofen besteht aus mehreren Schichten von Metallplatten, zwei getrennten Kammern und drei unabhängig voneinander betriebenen Lastschlössern für maximalen Wirkungsgrad. Die obere Kammer des Ofens ist die Antriebskammer, in der die patentierte HIKE-Antriebsstangenausrüstung untergebracht ist. Das Antriebsstangensystem besteht aus vier Stangen, die mit dem Ofenraum verbunden sind und eine vollständige Kontrolle der im Diffusionsvorgang verwendeten Temperatur ermöglichen. Diese Antriebseinheit ist so konzipiert, dass sie während des Betriebs einen optimalen Wirkungsgrad bietet und leicht auf unterschiedliche Materialien und Temperaturen einstellbar ist. Die Lastschlösser an DJ1223V CX3 werden über eine integrierte programmierbare Steuerung (SPS) betrieben. Die Lastschlösser weisen drei isolierte Kammern auf, um Wafer oder Substrate ohne Verschmutzung der Prozesskammer aus dem Ofen einzusetzen und zu entfernen. Jede der drei Kammern kann bis zu 6 „x 6“ Wafer handhaben und ist für eine hohe Genauigkeitskontrolle während des Diffusionsprozesses individuell programmierbar. In der Bodenkammer des Ofens befindet sich das Widerstandsheizelement, das eine gleichmäßige Erwärmung des Ofens mit einer maximalen Temperatur von 1300 ° C aufrechterhält. Das Element ist in der Lage, eine Prozesstemperatur zwischen 15 und 400 ° C mit genauer Temperaturregelung über alle Prozessschritte aufrechtzuerhalten. Die erwärmte Luft wird dann über eine Gebläsegebläsemaschine durch die Ofenkammern hindurch zirkuliert, die eine gleichmäßige Temperatur über die Probenoberfläche für einen präzisen und wiederholbaren Diffusionsprozess bereitstellt. HIKE DJ1223V CX3 Diffusionsofen ist in der Lage, eine Vielzahl von Prozesszyklen für die Prozessentwicklung und Produktion. Es kommt auch mit mehreren Funktionen, die bei der Prozessüberwachung helfen, einschließlich eines Chromel-Alumel-Thermoelements zur Temperaturregelung, einer integrierten Quarz-Halogenkammerleuchte zur einfachen Betrachtung der Lastschlösser und einer eingebauten Wafer-Kartierung. All diese Merkmale machen DJ1223V CX3 zu einem robusten und leistungsstarken Diffusionsofen, der in einer Vielzahl von Anwendungen eingesetzt werden kann.
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