Gebraucht HITACHI / KOKUSAI DD-1223V #9190226 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
Tippen Sie auf Zoom
ID: 9190226
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2001
Furnace, 12"
Process: Pyro
(100) Process wafers
Process type: Oxide
Gas supply: Bottom
PCW Supply: Bottom
Boat operation: 1Boat
Load lock: No
(25) Carrier slots
System control:
Main controller: CX3002C
Touch screen operation
Gas flow chart (Front, Rear)
Temperature controller: CQ1600
Pressure control: EPV100-AW
Controller power: Ø1 208V 150A
Heater power: Ø3 208V 350A
Oxygen analyzer: No
Tape heater controller: SR Mini
Torch
Process gases:
Process gas 1: N2
Process gas 2: N2
Process gas 3: O2
Process gas 4: O2
Process gas 5: H2
Process gas 6: Hcl
Process gas 7: N2
Process gas 8: N2
Gas distribution system:
Basic style: FUJIKIN IGS
Tubing material: SUS-316L
Tubing finish: VCR
Manual valve: FUJIKIN
Air operated valve: FUJIKIN
Regulator: AP Tech
MFC (Maker. Model): AERA
GAS Detector
Exhaust distribution system:
Air operated valve type
APC EPV-100
Baratron gauge
Main valve
Cold trap
Pump line
Wafer / Cassette handling:
Wafer alignment: No
(16) Cassette storage
Cassette in/out port
Cassette handling robot
Wafer transfer type: 1+4
Fork material: Ceramic
(5) Forks
Fork variable pitch
Fork wafer presence sensor
Elevator handling:
Boat elevator
Auto shutter
Boat rotation
Mechanical parts
Heating chamber:
D4EX16975-1 Heater
TC Type: No
Spike T/C
Overtemp protect T/C
Door interlock
Exhaust System:
Heater exhaust
Gas box exhaust
Process exhaust
ETC:
Handy terminal
Maintenance zig: No
Operation manual: No
Electrical manual: No
Mechanical manual: No
Boat cap ass'y: No
Manifold ass'y
Cap base ass'y
Tube setting part ass'y
Missing parts:
Scavenser EXH MS3 Sensor
Torch TC
Currently warehoused
2001 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DD-1223V ist eine vielseitige Diffusionsofenanlage, die für eine Reihe von Anwendungen verwendet werden kann, einschließlich Halbleiter- und Solarzellenfertigung, Dünnschichtabscheidung und andere Prozessofenanwendungen. HITACHI DD-1223V verfügt über ein isoliertes Quarzrohr und eine maximale Ofentemperatur von 1.200 ° C. Der Ofen kann sowohl in vertikaler als auch in horizontaler Konfiguration installiert werden und umfasst ein Gassystem in der Kammer zur Einstellung der Sauerstoff- und Stickstoffbilanz. KOKUSAI DD-1223V kommt mit einer Reihe von Zubehör entwickelt, um verschiedene Prozessanforderungen zu unterstützen. Dieses Zubehör umfasst ein Quarzauskleidungsrohr zur Verminderung von Verunreinigungen, eine Sammelplatte zum Sammeln von Auspuffungen, einen Anodenring zum Verhindern von Lichtbogen und eine Tiegelheizung zum Steuern der Temperatur des Substrats. Darüber hinaus umfasst der Ofen eine Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen wie eine Gasüberwachungseinheit, brennbare Gasfilter, Sicherheitsabschaltungen und eine automatische Abschaltung, wenn die Temperatur vorgegebene Grenzwerte überschreitet. DD-1223V verfügt über eine benutzerfreundliche Touchscreen-Oberfläche und eine breite Palette von vorprogrammierten Rezepten für verschiedene Prozesse. Der Ofen ist über einen Windows-kompatiblen PC programmiert und kann über eine Netzwerkverbindung fernbedient werden. Darüber hinaus verfügt der Ofen über eine RS232-Schnittstelle zum Anschluss an externe Systeme, mit der Benutzer auf zusätzliche Steuerungs- und Überwachungsfunktionen zugreifen können. HITACHI/KOKUSAI DD-1223V ist langlebig und zuverlässig sowie energieeffizient konzipiert. Der Ofen ist aus robustem Aluminium gefertigt und beinhaltet ein doppelt isoliertes Quarzrohr, um Wärmeverluste zu reduzieren, während gleichbleibende Temperaturen eingebracht werden. Der Ofen enthält auch eine wassergekühlte Maschine, die Kühlmittel durch die Strom- und Regelkreisläufe zirkuliert, um einen sicheren Betrieb und Kühleffizienz zu gewährleisten. HITACHI DD-1223V Diffusionsofen & Zubehör ist ein einfach zu bedienendes, vielseitiges Werkzeug, das kompakt, platzsparend und für eine Reihe von Reinraum- und Industrieanwendungen geeignet ist. Es bietet zuverlässigen Betrieb, umfangreiche Prozesssteuerungsfunktionen, erweiterte Sicherheitsfunktionen und einfache Wartung. Mit seiner intuitiven Touchscreen-Oberfläche, einem umfassenden Zubehörpaket und einer großen Auswahl an vorprogrammierten Rezepten ist KOKUSAI DD-1223V eine gute Wahl für jeden Benutzer.
Es liegen noch keine Bewertungen vor