Gebraucht HITACHI / KOKUSAI DD-1223V #9351374 zu verkaufen

HITACHI / KOKUSAI DD-1223V
ID: 9351374
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2003
Furnace, 12" 2003 vintage.
Die HitachiHITACHI/KOKUSAI DD-1223V ist ein hochmoderner Diffusionsofen, der speziell für Halbleiterverarbeitungsanwendungen wie Metall/Si und Tieftemperaturprozesse entwickelt wurde. Eines der fortschrittlicheren Modelle in HITACHI-Diffusionsöfen bietet überlegene Technologie, Leistung, Zuverlässigkeit und Benutzerfreundlichkeit. HITACHI DD-1223V ist in der Lage, schnelle thermische Verarbeitung und transiente Oxidationszyklen, die die hochwertige Single-Wafer-Verarbeitung zur Verfügung stellen. Die offene Rahmenkonstruktion bietet nur Platz für verschiedene Werkzeugkonfigurationen, einschließlich der Option für einen optionalen CVD-Einsatz. Das Ofendesign selbst ist kompakt und robust, mit kompakten Abmessungen und einer leichten, aber robusten Konstruktion, die eine überlegene Steifigkeit und Schwingungsdämpfung bietet. Dadurch wird die Heizgenauigkeit verbessert, was eine genaue und konsistente Verarbeitung ermöglicht. KOKUSAI DD-1223V verfügt über eine Auswahl von 2 Heizeinheiten: den elektrischen Widerstand oder einen speziellen Gasbrenner. Beide sind einfach zu bedienen und zu warten und bieten einstellbare Temperaturen bis 1100 ° C. Insbesondere die elektrische Ausrüstung ist hocheffizient und bietet eine zuverlässige Beheizung ohne Störungen aus nahegelegenen Quellen. Der CVD-Einsatz unterstützt bei Verwendung eine vereinfachte Substitution der Atmosphäre, während der Wafer bei gleicher Temperatur und Leistung läuft. Das integrierte Controller-System ist mit allen gängigen Prozesskammersystemen kompatibel und bietet eine breite Palette an Funktionen, darunter Vollfarbgrafik, Echtzeitanzeige und -überwachung, ein Fenster zur Beobachtung mit niedrigem Winkel und eine erweiterte Mehrzonenprogrammierung. Die intuitive Benutzeroberfläche erleichtert die Einrichtung und Bedienung und unterstützt den Zugriff von entfernten Standorten aus. Schließlich ist Sicherheit ein Schlüsselelement von DD-1223V, mit einer Vielzahl von sicherheitssteigernden Funktionen wie eine automatische Zyklusöffnungseinheit zum Schutz vor latenten Resttemperaturen. Es gibt auch eine integrierte Aussperrmaschine, um eine sichere Absicherung vor Fehlern sowie einen Schutz vor Druckänderungen und Feuchtigkeit zu gewährleisten. Um maximale Ergebnisse zu gewährleisten, wird HITACHI/KOKUSAI DD-1223V von einer kompletten Suite von Zubehör unterstützt, einschließlich Öfen, Steuerungen, Timer und Detektoren. Ebenfalls verfügbar ist eine Reihe von After-Sales-Dienstleistungen und Support, einschließlich technische Unterstützung, regelmäßige Wartung und Kalibrierung Operationen. Abschließend ist HITACHI DD-1223V ein innovativer, hocheffizienter und zuverlässiger Diffusionsofen, ideal für eine Vielzahl von Anwendungen. Sein überlegenes Design und Konstruktion, gepaart mit seiner Palette von benutzerfreundlichen Funktionen, macht es die ideale Wahl für Fachleute der Halbleiterverarbeitung.
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