Gebraucht HITACHI KOKUSAI DD-1223VN #9293898 zu verkaufen

HITACHI KOKUSAI DD-1223VN
ID: 9293898
Wafergröße: 12"
Furnace, 12" Process: ALD-TiN.
HITACHI KOKUSAI DD-1223VN ist ein Hochleistungs-Diffusionsofen, der speziell für den Diffusionsprozess entwickelt wurde. Es hat die Fähigkeit, eine breite Palette von Produkten zu verarbeiten, von Halbleiterbauelementen bis zu anderen Produkten wie Wafern, Pulvern und dünnen Filmen. Der Hochleistungs-Diffusionsprozess ist mit der Halbreaktorkammer des Ofens möglich, was einen hohen Wirkungsgrad und eine hohe Leistung ermöglicht. Es verfügt über eine langlebige Edelstahlkonstruktion mit einem Graphitheizelement, das einen zuverlässigen Betrieb auch unter hohen Temperaturbedingungen gewährleistet. Der Ofen verfügt über zwei unabhängige Regler, die eine effektive Heizungsregelung, Temperaturprofileinstellungen und Zykluswiederholbarkeit ermöglichen. Der Ofen verfügt außerdem über ein eingebautes Sicherheitssystem, das bei der Verwendung von Diffusionsöfen in der Produktionsumgebung von Halbleiterbauelementen wesentlich ist. Dies gewährleistet einen sicheren und zuverlässigen Betrieb ohne Explosions- oder sonstige Unfälle. Es verfügt außerdem über ein automatisches Gasabsperrsystem, um sicherzustellen, dass Sauerstoff nicht in den Prozessbereich gelangt. Eines der beeindruckendsten Merkmale von DD-1223VN ist seine hervorragende Genauigkeit und Wiederholbarkeit. Dadurch wird sichergestellt, dass die Diffusionsprozesse qualifiziert und zuverlässig sind. Der Ofen weist auch eine ausgezeichnete Temperaturgleichmäßigkeit auf, sogenannte „Hot Spots“ werden während des Prozesses jederzeit vermieden. Darüber hinaus verfügt der Ofen auch über zwei unabhängige Temperatursensoren (K-Thermoelemente) sowie zwei unabhängige Gasleitungen, so dass zwei verschiedene Gase gleichzeitig in verschiedenen Bereichen des Ofens eingesetzt werden können. Dies ermöglicht mehrere Schichten von Diffusionsprozessen auf demselben Substrat. Ferner weist sie eine Gasmischkammer auf, um die Gasströmung und -konzentration genau zu steuern. Um die beste Effizienz des Diffusionsprozesses zu gewährleisten, verfügt der Ofen auch über ein hochpräzises Gaseinspritzsystem. Dadurch wird sichergestellt, dass das Gas ordnungsgemäß eingespritzt und in der gesamten Kammer verteilt wird, was zu einem homogenen Prozess führt. Außerdem kann ein Inertgas über einen ofenseitigen Einlass für zusätzliche Sicherheit und einheitliche Prozessbedingungen zugeführt werden. Schließlich beinhaltet HITACHI KOKUSAI DD-1223VN auch einen kostengünstigen, unvergleichlichen Vor-Ort-Installationsservice, der den Installationsprozess so einfach wie möglich macht. Mit diesen Eigenschaften bietet dieser Diffusionsofen außergewöhnliche Leistung und Zuverlässigkeit, so dass er ideal für den Einsatz in jeder Anwendung ist.
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