Gebraucht HITACHI / KOKUSAI DD-802V-H #293608646 zu verkaufen

HITACHI / KOKUSAI DD-802V-H
ID: 293608646
Weinlese: 1991
Furnace 1991 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DD-802V-H Diffusionsofen und Zubehör sind eine sehr vielseitige und zuverlässige Ausrüstung für die thermische Verarbeitung von Halbleiterbauelementen. Dieses System verfügt über eine Hochtemperatur-Hochdruckverarbeitung mit der Fähigkeit, bis zu 1500 ° C für eine Vielzahl von Anwendungen zu verarbeiten. Das Gerät umfasst einen Diffusionsofen mit internen Heizelementen sowie eine Flexibilität zur beheizten Gas- und Kammerdruckregelung. Der Diffusionsofen hat einen 9 "-Innendurchmesser mit einer Einhöhenkammer, die eine maximale Werkstückgröße von 8" x 8 "ermöglicht. Die Hauptkammer wird durch zwei (2) richtungsverstellbare Molybdändisilizid (MoSi2) -Heizelemente mit einer Genauigkeit von ± 1 ° C beheizt. Diese Maschine bietet auch zwei (2) richtungsverstellbare Sekundärheizelemente, die jeweils auf eine maximale Temperatur von 1000 ° C mit einer Genauigkeit von ± 3 ° C erwärmt werden. Für zusätzliche Genauigkeit bietet HITACHI DD-802V-H auch ein Kühlwerkzeug, das Temperaturen innerhalb der Kammer auf bis zu 10 ° C unter seine Anfangstemperatur reduzieren kann. KOKUSAI DD-802V-H Asset ermöglicht auch eine Vielzahl von Atmosphären in der Kammer. Stickstoff und Inertgase können über einen Seitenwandeinlass mit einer Strömungsgeschwindigkeit von bis zu 10 Litern pro Minute eingeleitet werden. Eine zusätzliche Öffnung zur externen Gaszirkulation ermöglicht die Steuerung aggressiverer Atmosphären, wie Oxidationsatmosphären. Neben der Gasströmungssteuerung ist das Modell auch in der Lage, den Kammerdruck mit zwei Einlassöffnungen und einem Auslasskanal mit einstellbaren Druckeinstellungen zu steuern. Um optimale Verarbeitungsbedingungen und Sicherheit zu gewährleisten, ist DD-802V-H mit einer Reihe von Steuerungs- und Überwachungsfunktionen ausgestattet, einschließlich einer automatisierten Ausrüstung zur Überwachung von Temperatur, Druck und Feuchtigkeit. Das System verfügt außerdem über eine Absperreinheit zum sofortigen Abschalten der Kammer im Notfall sowie über ein fortgeschrittenes Überdruckventil zur Verhinderung von Überdruck. HITACHI/KOKUSAI DD-802V-H Diffusionsofen und Zubehör sind ideal für den Einsatz in einer Vielzahl von Anwendungen, von der Halbleiterverarbeitung bis zur Photovoltaik-Geräteherstellung. Diese Maschine bietet höchste Sicherheit und Zuverlässigkeit durch automatisierte Steuerungs- und Überwachungsfunktionen, vielseitige Atmosphären und präzise Heizelemente. Für Unternehmen, die Hochtemperatur-Hochdruckverarbeitung für ihre Anwendungen suchen, ist HITACHI DD-802V-H die ideale Lösung.
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