Gebraucht HITACHI / KOKUSAI DD-802V-H #9237189 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9237189
Weinlese: 1991
Furnace
Process: PYRO
No alarm
Inlet:
Power:
Heater: 1 ¢, 208 V, 142 A
Main: 1 ¢, 120 V, 42 A
Blower: 3 ¢, 208 V, 2 A
Gases:
N2: 1/4 VCR Male
H2: 1/4 VCR Male
O2: 1/4 VCR Male
HCL: 1/4 VCR Male
CDA: 1/4 LOCK Male
Vacuum: 1/4 LOCK Male
VENT: 1/4 VCR Male
Outlet exhaust drain:
PCW: (2) 1B Union male
Exhaust:
Gas box: 150 ¢
Heater: 150 ¢
Process: 40 ¢
Drain: 3/8 LOCK Female
Damaged part: Drain nozzle
1991 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DD-802V-H ist ein hochmoderner Diffusionsofen und Zubehör, das auf die schwierigsten Anwendungen zugeschnitten ist. HITACHI DD-802V-H besteht aus hochtemperaturbeständigen Materialien, die für Diffusionsprozesse bis zu einer Temperatur von 2200 ° C geeignet sind. Dies sorgt für einen schnelleren und niedrigeren Energieverbrauch und eliminiert Wartungskosten. Der Ofen hat einen isolierten Wolframfaden für kontrollierte Temperaturgleichförmigkeit und Fehler niedriger Gleichmäßigkeit, sowie ein Diffusionsmodul mit zwei Sätzen von Thermoelementen für präzise Temperaturmessung. KOKUSAI DD-802V-H verfügt über eine Drei-Zonen-Temperaturregelung, die hilft, qualitativ hochwertige Diffusion über den gesamten Wafer zu produzieren. Die beheizten Zonen helfen auch, Verzerrungen durch thermische Beanspruchung zu reduzieren. DD-802V-H ist mit fortschrittlichen pyrometrischen Sicherheits- und Antioxidationsfunktionen ausgestattet, die längere Laufzeiten und eine erhöhte Effizienz ermöglichen. Das pyrometrische Gerät besteht aus vier Thermoelementen, vier unabhängigen Übertemperatursensoren und zwei Pyrometerköpfen mit Temperaturauslesungen bis 1650 ° C. Die Prozessgase werden im gesamten Ofen für eine verbesserte Temperaturgleichförmigkeit und gleichmäßige Dotierungskonzentration im Kreislauf geführt. Darüber hinaus weist der Ofen ein Antioxidationssystem auf, das Wafer vor Oxidationsschäden schützt, indem die Richtung des Förderers und des Gasstroms bei Diffusionsprozessen eingestellt wird. HITACHI/KOKUSAI DD-802V-H kommt auch mit einer patentierten, halb geschlossenen homogenen Gaseinheit, die Gasaustritt und Kreuzkontamination minimiert. Mit dieser Maschine entfällt die Notwendigkeit eines manuellen Steuerwerkzeugs, was zu einer erhöhten Effizienz bei weniger Betriebsfehlern führt. Darüber hinaus ist HITACHI DD-802V-H in der Lage, Prozessprotokolle zu sammeln, sodass Anwender Temperaturen und Durchflussraten während des Herstellungsprozesses verfolgen können. Insgesamt ist KOKUSAI DD-802V-H ein hochmoderner Diffusionsofen, der den Anwendern dank seiner fortschrittlichen Sicherheits- und Antioxidationsfunktionen eine erhöhte Effizienz und geringere Kosten bietet, verbunden mit minimierter Gasleckage und erhöhter Temperaturgleichmäßigkeit und -kontrolle. Dieses Modell bietet eine leistungsstarke und zuverlässige Lösung für Anwender, die einige der anspruchsvollsten Produkte in höchster Qualität herstellen möchten.
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