Gebraucht HITACHI / KOKUSAI DD-802V #9269474 zu verkaufen

HITACHI / KOKUSAI DD-802V
ID: 9269474
Wafergröße: 6"
Vertical furnaces, 6".
HITACHI/KOKUSAI DD-802V ist ein Diffusionsofen und Zubehör für die Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es wird in einer Vielzahl von Branchen eingesetzt, darunter Unterhaltungselektronik, Luft- und Raumfahrt und die Automobilindustrie. Der Ofen besteht aus mehreren Komponenten, darunter einer Kammer, einer Stromversorgung, einer Gasfördereinrichtung und einem Kühlsystem. Die Muffelkammer in HITACHI DD-802V besteht aus einer Aluminium- oder Quarzplatte zur gleichmäßigen Wärmeverteilung. Die Kammer ist mit mehreren Temperatursensoren ausgestattet, um die Temperaturverteilung zu überwachen und zu steuern. Der Temperaturbereich auf KOKUSAI DD-802V beträgt 200-900 ° C mit einer Genauigkeit von ± 5 ° C. Die Kammer verfügt außerdem über eine In-situ-Gasfördereinheit, die bei der Aufrechterhaltung eines gleichmäßigen Flusses von Prozessgasen wie CVD, PVD und anderen hilft. DD-802V wird von einem Wechselstromnetzteil mit einem Spannungsbereich von AC 220V-380V, einer Frequenz von 50-60Hz und einer internen Leistungsfaktorkorrektur (PFC) betrieben. Das PFC-Werkzeug hilft, einen stabilen Stromfluss zum Ofen aufrechtzuerhalten, was den Energieverbrauch reduziert und die Stabilität der Temperaturverteilung fördert. Die Gaslieferanlage in HITACHI/KOKUSAI DD-802V hilft, eine inerte Atmosphäre in der Kammer zu schaffen und die Verhinderung von Oxidation und die gleichmäßige Abscheidung von Filmen zu fördern. Das Modell hilft auch bei der Steuerung der Durchflussmenge von Prozessgasen und ermöglicht eine präzise Parameterregelung. Die Kühlausrüstung im Ofen hilft, die Temperatur der abgeschiedenen Folien zu reduzieren, so dass sie nicht zu heiß werden, wodurch wärmebedingte Schäden verhindert werden. HITACHI DD-802V kann ohne Vakuumpumpe einen Vakuumspiegel unter 0,1 Pa erzeugen. Dieses Merkmal fördert die gleichmäßige Abscheidung von dünnen Folien und trägt zur Aufrechterhaltung der Sauberkeit der Kammer bei. KOKUSAI DD-802V kommt auch mit einem CIX- und Mass Flow Controller (MFC), der bei der Steuerung der Prozessparameter für die Filmabscheidung hilft. DD-802V ist zuverlässig, leistungsstark und in der Lage, Filme unterschiedlicher Dicke und Reinheit zu produzieren. Es eignet sich hervorragend zur Herstellung von Halbleiterbauelementen und anderen Produkten. Das System ist zudem sicher und in der Lage, effizient in einem weiten Bereich von Temperaturen und Drücken zu arbeiten.
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