Gebraucht HITACHI / KOKUSAI DD-803V #293633553 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
Tippen Sie auf Zoom
ID: 293633553
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1998
Vertical furnace, 8"
Atmospheric controller
Hand controller
CX2000 Controller
SECM / GEM Communication: Serial
Utility cabinet
CQ1501 Temperature controller
(4) Zones
D4EX02728 Heater
Process temperature: 700°C-1000°C
Flatzone length: 952.50 mm
Process tube material: Quartz
Wafer boat material: Quartz
Tube seal configuration: N2 Flow
R-Type thermocouple
Exhaust controller
Transformer
Temperature control:
P: 0.1~200%
I: 0.01-100.00 min
D: 0.00-10.00 min
Load station:
WIP Carrier capacity: 16
Wafer spacing: 5.20 ±0.05 mm
Load size: 150-Slots
Boat rotation
Process gas control system:
External torch
H2 Burn off
Bubbler
Process gas (Atmosperic):
MFC Model: SEC-Z500, SEC-4500, SEC-4400 / Analog
Process gas: N2, H2, Ar, O2, N2O
SCHUMACHER ATCS 15 Bubbler system
Other gases: UN2 (Air/N2)
Input power supply:
Heater: 208VAC, 50KVA, Single phase
Controller: 100VAC, 4KVA, Single phase
Clean Unit: 100VAC, 1.5KVA, Single phase
Start-up PSU: 24VDC
1998 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DD-803V Diffusionsofen ist ein fortschrittliches, zuverlässiges und effizientes Werkzeug für Halbleiterhersteller. Dieser Ofen ist gasdurchflussartig und kann eine Vielzahl von Hochtemperaturdiffusionsprozessen durchführen. Es bietet hohe Geschwindigkeit, hohe Reproduzierbarkeit und Kühlfunktionen. Der Ofen verfügt über eine Gasströmungsart, die eine sichere und gleichmäßige Erwärmung und Kühlung des Materials ermöglicht. Es enthält auch mehrere Regler, einschließlich Temperaturregler, Durchflussregler und Druckregler. Der Ofen hat einen weiten Temperaturbereich und kann bei bis zu 1500 ° C arbeiten. Es verfügt über fortschrittliche Rühr- und Mischtechniken, die eine gleichmäßige Wärmeverteilung im Material ermöglichen. Der Ofen hat auch ein Schutzquarzrohr, so dass es in einer Vakuumumgebung arbeiten. Der Ofen ist mit einer Überkopfmechanik ausgestattet, die eine einfache Bewegung und Beladung der Ofenelemente ermöglicht. Der Ofen umfasst auch mehrere Sicherheitsmerkmale, wie ein eingebautes Wärmedämmsystem und einen Übertemperaturalarm. Der Ofen enthält auch eine Reihe von zusätzlichen Funktionen, wie einen Timer, einen Niedertemperaturalarm, einen Hochtemperaturalarm und einen Reinigungszeitgeber. Der Ofen verfügt außerdem über ein automatisiertes Steuerungssystem, das eine feinabgestellte Steuerung des Prozesses ermöglicht. HITACHI DD-803V Diffusionsofen ist auch mit einer Vielzahl von Zubehör, wie einem Kühlpaket, einem Alleidfutter und einem Isolator erhältlich. Das Kühlpaket ermöglicht ein schnelles und effizientes Abkühlen des Ofens, während das Alleid-Futter hilft, das Substrat sicher im Ofen zu halten. Der Isolator dient zum Schutz des Substrats vor Verunreinigungen. Insgesamt ist KOKUSAI DD-803V Diffusionsofen ein zuverlässiges, effizientes und sicheres Werkzeug für die Halbleiterherstellung. Es bietet einen breiten Temperaturbereich, fortschrittliche Rühr- und Mischtechniken, mehrere Controller und eine Vielzahl von Zubehör, um einheitliche Diffusionsprozesse zu gewährleisten.
Es liegen noch keine Bewertungen vor