Gebraucht HITACHI / KOKUSAI DD-803V #293633554 zu verkaufen
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ID: 293633554
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1998
Vertical furnace, 8"
Atmospheric controller
Clean unit controller
CX2000 Controller
Utility cabinet
CQ1501 Temperature controller
(4) Zones
D4EX02728 Heater
Process temperature: 700°C-1000°C
Flatzone length: 952.50 mm
Process tube material: Quartz
Wafer boat material: Quartz
Tube seal configuration: N2 Flow
R-Type thermocouple
Exhaust controller
SECM / GEM Communication: Serial
Temperature control:
P: 0.1~200%
I: 0.01-100.00 min
D: 0.00-10.00 min
Load station:
WIP Carrier capacity: 16
Wafer spacing: 5.20 ±0.05 mm
Load size: 150-Slots
Boat rotation
Process gas control system:
External torch
H2 Burn off
Bubbler
Process gas (Atmosperic):
MFC Model: SEC-Z500, SEC-4500, SEC-4400 / Analog
Process gas: N2, H2, Ar, O2, NO
SCHUMACHER ATCS 15 Bubbler system
Other gases: UN2 (Air/N2)
Input power supply:
Heater: 208VAC, 50KVA, Single phase
Controller: 100VAC, 4KVA, Single phase
Clean Unit: 100VAC, 1.5KVA, Single phase
Start-up PSU: 24VDC
Handler missing
1998 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DD-803V Diffusionsofen und Zubehör bieten eine umfassende Lösung für Glüh-, Sinter- und Diffusionsanwendungen. Diese Diffusionsofenausrüstung besteht aus einer vollautomatischen genauen Heiz- und Kühlplattform (HCP) und zuverlässiger Handlungsleistung, die für eine Vielzahl von Materialien und Prozessen geeignet ist. HITACHI DD-803V ist eine vielseitige Maschine mit einem breiten Anwendungsspektrum. Es verfügt über vier Kammern, darunter eine Ofenkammer, eine Kühlkammer und zwei Hilfsmittel. Die Ofenkammer verfügt über eine Reihe von Merkmalen, wie digitale Temperaturregler, Zwangsluftzirkulation und eine integrierte Kühlkammer. Die Kühlkammer ermöglicht ein effektives Kühlverfahren für eine Reihe von Materialien und Prozessen. Es funktioniert effizient mit oder ohne Hilfe von Inertgas, wie Argon. KOKUSAI DD-803V wird um einen starken Metallrahmen gebaut, der langlebige Haltbarkeit bietet, auch in rauen Arbeitsumgebungen. Es ist mit einer leistungsstarken keramischen Isolierung ausgestattet, die die Leistung verbessert und Wartungskosten und Energiekosten minimiert. Der Ofen wird über eine benutzerfreundliche Touch-basierte Schnittstelle gesteuert, die eine einfache Einrichtung und Bedienung ermöglicht. Darüber hinaus bleibt der Ofen dank seiner eingebauten Sicherheitsmechanismen sicher für den Einsatz in einer Vielzahl von Umgebungen. DD-803V Diffusionsofen und Zubehör ist so konzipiert, dass sie den Bedürfnissen und Anforderungen vieler Materialien und Prozesse gerecht wird, einschließlich der Herstellung von Halbleiter- und Solarzellen, Forschung und Entwicklung, Dünnschichtanwendungen und der Herstellung medizinischer Geräte. Das Multi-Zone Processing System (MPS) bietet eine fortschrittliche Kontrolle der Prozesstemperaturen und Umgebungsbedingungen und gewährleistet präzise und konsistente Ergebnisse. Die Gleichmäßigkeit der Ofenkammer wird durch die leistungsstarke Heizungssteuerung mit einstellbarer Zonensteuerung und optional automatisierter Regenerationsmaschine gewahrt. Neben dem Ofen, HITACHI/KOKUSAI DD-803V Diffusionsofen und Zubehör enthält eine Reihe von nützlichen Zubehör. Beispiele sind eine Stromverteilungseinheit, eine Wägezellenplattform, Befestigungssysteme, Inertgasgehäuse und eine programmierbare Logiksteuerung zur erweiterten Steuerung und Überwachung. HITACHI DD-803V eignet sich aufgrund seiner präzisen Temperaturregelung, außergewöhnlicher Gleichmäßigkeit und Zuverlässigkeit sowie umfassender Sicherheitsmerkmale ideal für präzise Prozesse und sensible Komponenten.
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