Gebraucht HITACHI / KOKUSAI DD-812V #9211006 zu verkaufen

HITACHI/KOKUSAI DD-812V ist ein Diffusionsofen und Zubehör für die Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es ist ein vertikaler Ofen mit einer heißen Zone mit drei Heizelementen ausgestattet: eine Graphit-Widerstandsheizung, eine Quarz-Halogenlampe und eine Infrarot-Keramikheizung. Die Ofentemperatur kann bis zu 1000 ° C erreichen und weist eine hohe thermische Gleichmäßigkeit auf. Es hat eine ausgezeichnete Umweltcharakteristik, wodurch es für die epitaktische Halbleiterabscheidung geeignet ist. Es verfügt über eine hochmoderne dreidimensionale Gasverteilungsanlage mit dynamischer Einstellung, die eine präzise und stabile Gasverteilung während des gesamten Prozesszyklus ermöglicht. Das System ist in der Lage, eine präzise Gasströmungsregelung durchzuführen, die eine Vielzahl von Prozessen ermöglicht. Zusätzlich kann die Strömungsgeschwindigkeit des Durchflussregelgases auf bestimmte Abscheidebedingungen eingestellt werden. Die heiße Zone besteht aus zwei Teilen: oben und unten. Das Oberteil dient zur Erwärmung des Wafers und das Unterteil zur Steuerung der Prozessatmosphäre. Der Ofen ist mit einem High-End-Mikroprozessorregler ausgestattet, der eine optimale Prozesssteuerung und präzise Temperaturregelung ermöglicht. Der einfach zu bedienende Controller unterstützt über 50 Rezepte und ermöglicht 100 simultane Programmierung. Darüber hinaus wird der Ofen von einer breiten Palette von Zubehör begleitet, darunter eine Gasplatte, eine hocheffiziente Abgasanlage und eine Quarzrohrheizung. Das Gaspanel hilft bei der Steuerung des Eingangsgasstroms und liefert eine präzise Gasverteilmaschine. Das Abgaswerkzeug hilft beim Entfernen von Dämpfen und Gasen aus der Anlage, um eine saubere Arbeitsumgebung zu erhalten. Der Quarzrohrheizer hilft, die Temperatur der Abscheideoberfläche konstant zu halten. Der Ofen ist so konzipiert, dass er maximale Prozesseffizienz und exzellente Prozesskontrolle bietet. Es verfügt über eine hochauflösende Fotografie sowie ein zuverlässiges Sicherheitsmodell, um unbefugten Zugriff zu verhindern. Die Ausrüstung wird durch ein umfassendes Serviceprogramm unterstützt, das routinemäßige Wartung und Unterstützung bietet. HITACHI DD-812V ist eine ideale Wahl für die Herstellung moderner Halbleiterbauelemente. Es wurde entwickelt, um eine präzise Temperaturregelung und maximale Prozessleistung mit höchster Zuverlässigkeit zu gewährleisten. Typische Anwendungen sind das Wachstum und die Entwicklung von Schottky-Barrieren, ohmschen Kontakten und epitaktischen Schichten.