Gebraucht HITACHI / KOKUSAI DD-812V #9397458 zu verkaufen
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ID: 9397458
Weinlese: 2007
Vertical diffusion furnace
Robot: NG
(4) Resistance heating cartridge heater zones
Effective area: φ276 mm
Heat uniformity length: 800 mm (heater stand alone)
Operating temperature range: 400°C~850°C
Quartz incorporated (wafer fully charged)
Heat equalization length: 740 mm
Operating temperature range: 400°C - 500°C
Cassette shelf: (3) Rows x (3) columns
Cassettes: 9"- 6"
Maximum power consumption: 800°C
Power supply: 200 V, 3.6 kW, 3-Phase
2007 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DD-812V Diffusionsofen ist für Oxidation und schnelle thermische Glühanwendungen konzipiert. Mit einem Quarzrohr mit 8 Zoll Durchmesser bietet es eine hervorragende Gleichmäßigkeit und eine enge Prozesskontrolle. Der Ofen kann sowohl Oxid- als auch Nitridfolien verarbeiten. Seine hohe Temperaturfähigkeit bis 1250 ° C und Wiederholgenauigkeit von +/- 0,1 ° C sorgen für zuverlässige und konsistente Ergebnisse für anspruchsvolle Prozesse wie die Herstellung von Halbleiterbauelementen. HITACHI DD-812V verfügt über eine einzigartige Zonensteuerung, die präzise Heizprofile zur Prozessoptimierung ermöglicht. Es ist mit zwei unabhängig voneinander gesteuerten Heizungen und zwei Quarzrohrhaltern ausgestattet, die den Betrieb bei Prozesstemperaturen von Raumtemperatur bis 1250 ° C ermöglichen. Der Ofen bietet zudem eine umfassende Überwachung durch Alarme, thermische Zähler und Prozesssteuerungslogik. KOKUSAI DD 812V ist mit mehreren Zubehörteilen wie einer Turbopumpe, einer Stützpumpe, einem Quarzglockenglas, einer Kühlplatte und einer Fußpedalsteuerung ausgestattet. Die Turbopumpe ermöglicht die effiziente Entfernung von Gasmolekülen während des Oxidationsprozesses, während die Trägerpumpe den Lufteinlass verhindert. Das Quarzglockenglas wird verwendet, um sicherzustellen, dass die Prozessumgebung erhalten bleibt, während die Kühlplatte das Risiko eines thermischen Schocks reduziert. Schließlich bietet das Fußpedal eine zusätzliche Steuerung, mit der Sie die Wärmeeinstellung genau einstellen und den Ofen starten/stoppen können. DD 812V bietet ein umfassendes Spektrum an Sicherheitsmerkmalen, darunter Übertemperaturschutz und ein thermisches Verriegelungssystem. Dadurch bleibt der Prozess sicher und stabil und ermöglicht einen zuverlässigen Betrieb auch bei langlebigen Prozessen. Das Gerät ist auch in der Lage, bis zu zehn Betriebsmenüs zu speichern und kann bis zu drei Temperaturprofile protokollieren. HITACHI DD 812V Diffusionsofen ist eine leistungsstarke und zuverlässige Maschine mit ausgezeichneter Prozesskontrolle und Wiederholbarkeit für Oxid- und Nitridfolien. Seine einfach zu bedienenden Bedienelemente und Funktionen, kombiniert mit fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen machen es zu einer idealen Wahl für eine Vielzahl von Diffusions- und Glühprozessen.
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