Gebraucht HITACHI / KOKUSAI DD-833V-8B #9281053 zu verkaufen

HITACHI / KOKUSAI DD-833V-8B
ID: 9281053
Wafergröße: 8"
Diffusion furnace, 8".
HITACHI/KOKUSAI DD-833V-8B ist ein fortschrittlicher Diffusionsofen und Zubehör, der eine Komplettlösung für verschiedene Prozesse wie Gold, Aluminium, Silizium und Kupferabscheidung bietet. Der Diffusionsofen ist mit einer Mehrzonensteuerung gebaut, um eine präzise Kontrolle und wiederholbare Genauigkeit zu gewährleisten. Die fortschrittlichen Funktionen bieten eine präzise Temperaturregelung und schnelle Heizzeiten, ermöglichen aber auch Materialstärke und Gleichmäßigkeit zwischen den Schichten. Es kann Substrate bis zu 8 "in Größe und Temperaturbereich von 70 ° C -1200 ° C eingestellt werden. Es verfügt außerdem über ein druckempfindliches Beschichtungsverfahren und eine mehrzonige programmierbare Steuerung zur Minimierung thermischer Gradienten. Die feine Temperaturregelung von HITACHI DD-833V-8B ermöglicht höhere Abscheideraten und ist ideal für Bump-Anwendungen auf Halbleiterbauelementen. Der Ofen verfügt auch über eine Oxidationsphasen-Regeleinrichtung (OPCS) für reproduzierbare Oxidation. Die Heizung ist ein Hochfrequenz-Induktionstyp, der eine gleichmäßige und plattierte Wärmeverteilung ermöglicht, während die CR-Seitensensoren (x2) präzise und genaue Temperaturmessungen gewährleisten. An der Oberseite des Ofens bietet ein Aussichtspunkt aus Quarzglas eine hervorragende Sichtbarkeit bei hohen Temperaturen. KOKUSAI DD-833V-8B verfügt auch über ein Wand-Alterungssystem, das auf dicken Substraten arbeitet und eine modulierte HF-Stromquelle und fortschrittliche C-Mode-Programme für hochdichte Dotierung verwendet. Die Temperaturmessung erfolgt durch eine Hochleistungs-Thermosensoreinheit, die die genaue Temperatureinstellung des Ofens ermöglicht. DD-833V-8B ist mit einem Basissatz an Zubehör wie Anodenflansche, drehbare Anodenantriebsarmanordnung, Hochtemperatur-elektrische Durchführung, Schläuche und Anschlusskabel gebündelt. Die umfassende Steuerungsmaschine umfasst eine hochauflösende, farbige LCD-Anzeige, HI/LO-Wärme, Rampenzeit, Gesamtprozesszeit, visuelle Prozesshistorie, 5-Achsen-Bewegungssteuerung und Allzweck-Funktionsschlüsseloperationen. Insgesamt ist HITACHI/KOKUSAI DD-833V-8B ein fortschrittliches Diffusionsofen und Zubehörwerkzeug für verschiedene Prozesse. Es verfügt über eine Mehrzonensteuerung, eine präzise Temperaturregelung, OPCS, HFIC-Heizung, Wandalterung und ein grundlegendes Zubehörset. Das umfassende Steuerungsmodell bietet alle notwendigen Werkzeuge, um eine hochwirksame und reproduzierbare Prozessleistung zu gewährleisten.
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