Gebraucht HITACHI / KOKUSAI DD-833V #293749184 zu verkaufen

HITACHI/KOKUSAI DD-833V ist ein Diffusionsofen und Zubehör Ausrüstung entwickelt, um hochpräzise Temperaturregelung für eine breite Palette von Anwendungen zu liefern. Es verwendet ein vertikales Quarzrohr, durch das ein Gasgemisch geleitet wird, um eine gleichmäßige Erwärmung von Wafern zu erreichen. Der große Innendurchmesser ermöglicht die gleichzeitige Verarbeitung großer Chargen von Wafern und Schichtdicken, während die hohe Temperaturgenauigkeit eine präzise Steuerung von Übertragungszeit und Wärmeübertragung ermöglicht. Der Diffusionsofen ist ein dreiachsiges Modell, das über ein optisches Pyrometer verfügt, um die Temperatur in mehreren Zonen genau zu überwachen und zu steuern. Es enthält auch einen Quarzrohrschutz zur Temperaturregelung, eine Quarzkammer und ein Quarzglockenglas. Der Ofen ist aus hochwertigem, korrosionsbeständigem Edelstahl gefertigt und mit Halbleiterleistungsreglern, elektronischem Druckmonitor, Notabschaltung und Füllstandsanzeigern ausgestattet. Das Zubehör von HITACHI DD-833V umfasst eine Vakuumkammer, eine Turbomolekularpumpe, einen Drehantrieb, ein Sicherheitsventil, einen Durchflussregler, einen Druckschalter, einen Manometer und einen Wafer-Wärmedetektor. Die Vakuumkammer hilft, das Vorhandensein von Luft im Diffusionsofen-Prozess zu beseitigen, wodurch qualitativ hochwertige Ergebnisse gewährleistet werden. Die Turbomolekularpumpe arbeitet mit hoher Geschwindigkeit, um die Gase aus dem Diffusionsofen zu pumpen, während der Drehantrieb verwendet wird, um die Wafer innerhalb des Diffusionsofens während der Verarbeitung zu drehen. Das mitgelieferte Sicherheitsventil ist zur schnellen Druckbegrenzung bei Bedarf ausgelegt und der Strömungsregler sorgt für eine präzise Regelung des Gasgemisches. Der Manometer und der Druckschalter sind für die Überwachung und Regelung des Druckniveaus während der Verarbeitung ausgelegt. Der Wafer-Wärmedetektor bietet eine visuelle Rückkopplung der Wafertemperatur. Darüber hinaus umfasst KOKUSAI DD 833V zwei Kühlsysteme und einen Temperaturregler. Das erste Kühlsystem ist in den Auspuffkrümmer eingebaut und soll das den Diffusionsofen verlassende Gasgemisch schnell abkühlen. Die zweite Einheit ist Trockenkühlung und der Temperaturregler hilft, die Temperatur in einem Bereich von 50 bis 1000 ° C genau zu regeln. HITACHI DD 833V Diffusionsofen und Zubehör Maschine bietet eine präzise Steuerung der Temperatur und den Fluss der Wärmeparameter, so dass es eine ideale Wahl für eine breite Palette von Anwendungen.