Gebraucht HITACHI / KOKUSAI DD-833V #9161747 zu verkaufen

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HITACHI / KOKUSAI DD-833V
Verkauft
ID: 9161747
Wafergröße: 6"
Furnace, 6" Process: Wet oxidation Main frame Utility box.
HITACHI/KOKUSAI DD-833V ist ein Hochleistungs-Diffusionsofen, der speziell für die kontrollierte thermische Verarbeitung einer Vielzahl von Halbleitermaterialien entwickelt wurde. Dieser leistungsstarke, effiziente Ofen verfügt über eine einzigartige Drei-Zonen-Abgasanlage, die maximale thermische Verarbeitungseffizienz und Flexibilität bietet. Das System wurde entwickelt, um in einer Vielzahl von verschiedenen Temperaturbereichen und chemischen Atmosphären arbeiten, so dass es ideal für Anwendungen wie Hochtemperatur-Dotierung und Glühverfahren, sowie die Herstellung von mehrschichtigen Metallisierungsstrukturen. Die erweiterte Wärmezonenflexibilität ermöglicht zudem eine bessere Kontrolle der Verarbeitungstemperaturen, was zu einer verbesserten Prozessreproduzierbarkeit und Wiederholbarkeit führt. HITACHI DD-833V weist einen hohen Temperaturbereich von niedriger thermischer Reaktion bis zu Temperaturen bis 1150 ° C auf. Durch den Einsatz eines einzigartigen IR-Strahlungsheizungssystems (Split-Element Infrarot), das drei unabhängig voneinander gesteuerte Heizzonen ermöglicht, werden gleichmäßige Temperaturen im gesamten Ofen aufrechterhalten. Jede Zone ist mit einem unabhängigen Infrarot-Strahlungselementregler versehen, der die Temperatur jeder Zone innerhalb von +/- 3 ° C genau regelt. KOKUSAI DD 833V ist mit einem eingebauten Kühlventilator ausgestattet, der zur effizienten Abgas- und Rauchentwicklung aus den thermischen Prozessen ausgelegt ist. Dieser Lüfter ist auch hilfreich bei der Aufrechterhaltung einer sicheren Arbeitsumgebung für den Benutzer. Die Qualität des dem Ofen zugeführten Gases wird durch den Mechanismus des Ofens zur automatischen Steuerung/Einstellung des Luftdurchsatzes weiter gewährleistet. DD 833V wird standardmäßig mit einer Vielzahl von Zubehörteilen und optionalen Funktionen wie einer Waschanlage zur Entfernung von Sauerstoff oder Nebenprodukten aus den thermischen Prozessen, verschiedenen Gasleitungen zur Befestigung des optionalen Wäschers und Öfen sowie Graphit-Aluminiumoxid und keramischen Materialien zum Schutz des Wafers vor Überbearbeitung oder Verbrennung geliefert. KOKUSAI DD-833V ist ein leistungsstarker Diffusionsofen, der den Anwendern vielseitige Prozessfähigkeiten, verbesserte thermische Verarbeitungsleistung und höchste Bedienersicherheit bietet. Ausgestattet mit einer robusten Konstruktion und einem hohen Temperaturbereich ist HITACHI DD 833V ein ideales Werkzeug, um den Anforderungen der Halbleiterproduktion gerecht zu werden.
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