Gebraucht HITACHI / KOKUSAI DD-833V #9238012 zu verkaufen
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ID: 9238012
Wafergröße: 6"
Diffusion furnace, 6"
Process: PYRO (HCL)
Process gas: N2, H2, O2, HCL
Loading system:
Front operation panel: R-Axis
Pass box (Load lock): Cassette loader
CX 3002 Main controller
CX 1220 Mecha controller
Wafer counter, 6" (every 25)
I/O Stage check: Air off
CX 3002 Cassette loader
Wafer transfer: Air Off ((5) vacuum tweezer, 6")
Furnace system:
CQ 1500 (DN-150) Temperature controller
D4EX 05414 Heater
SIC Profile
(4) Controllers
(4) Monitors
Gas system:
CX 1311 MFC Controller
MFC (STEC):
MFC1: 30SLM
MFC2: H2 20SLM
MFC3: O2 20SLM
Model / Gas:
MFC4: O2 2SLM
MFC5: HCl 1SLM
MFM: N2 10SLM
(2) Filters
Pressure control system:
AERA RC-100F Pressure controller
Valve open / Close check: APC Valve area RV-100
Burning system:
CX 1310 Burn controller
Power:
Heater: 3Φ, AC 200 V, 42 kVA
Control: 1Φ, AC 100 V, 30 A
Clean unit: 1Φ, AC 100 V, 40 A.
HITACHI/KOKUSAI DD-833V ist ein fortschrittliches Diffusionsofen und Zubehörpaket, das entworfen wurde, um eine präzise Temperaturregelung und Gleichmäßigkeit für eine Vielzahl von Materialien zu bieten. Der Ofen weist eine Molybdän-Sechstwandheizkammer, ein Hochleistungsquarzrohrheizelement, eine zweistufige Membranpumpe und einen hochpräzisen Temperaturregler auf. Mit diesen Eigenschaften ist HITACHI DD-833V in der Lage, Temperaturen bis zu 1.400 ° C bei einer Vielzahl von Diffusionsprozessen genau zu kontrollieren. Der Ofen kann in Anwendungen eingesetzt werden, die eine schnelle thermische Diffusion erfordern, wie Dünnschichtabscheidung von Metallen und Glas, CVD-Verfahren und thermische Verarbeitung. Die Molybdän-Heizkammer von KOKUSAI DD 833V ist darauf ausgelegt, Materialien mit minimalen thermischen Verlusten schnell zu erwärmen. Das Quarzrohr-Heizelement liefert eine exakte Reaktion auf Temperaturänderungen für präzise und konsistente thermische Diffusion. Die neben dem Ofen befindliche zweistufige Membranpumpe reduziert das Risiko von Oberflächenverschmutzungen. Hochpräzise Temperaturregler bieten eine präzise Temperaturregelung und Gleichmäßigkeit, die einen schnellen und genauen Betrieb des Diffusionsofens ermöglicht. Das Paket enthält auch zusätzliches Zubehör, das den Betrieb von DD- 833V verbessert. Ein höhenverstellbarer Halter dient zur Positionierung von Proben im Ofen. Ein Deckelhebemechanismus ermöglicht einen einfachen Zugang zu Proben während der thermischen Verarbeitung. Zur Bereitstellung zusätzlicher Energiequellen, wie z.B. Trockengas, für den Diffusionsofen ist ein separates Stromversorgungsmodul vorgesehen. Darüber hinaus sind eine Vielzahl von Ofenbedienfeldern, elektrischen Komponenten und anderem Zubehör mit DD-833V enthalten, um eine präzise Steuerung des Diffusionsprozesses zu ermöglichen. Die Bedienfelder sind einfach zu bedienen und bieten intuitive Befehle und eine Reihe von Indikatoren zur Überwachung des Temperatur- und Diffusionsfortschritts. Alle notwendigen elektrischen Komponenten sind für eine sichere und zuverlässige Verbindung mit der Stromquelle enthalten. KOKUSAI DD-833V ist ein fortschrittliches und zuverlässiges Diffusionsofen- und Zubehörpaket, das eine präzise Temperaturregelung und Gleichmäßigkeit für eine Vielzahl von Materialien bietet. Durch sein überlegenes Heizsystem, mitgeliefertes Zubehör und einfach zu bedienende Bedienfelder macht HITACHI DD 833V die thermische Diffusion zu einem einfachen und komplexen Prozess.
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