Gebraucht HITACHI / KOKUSAI DD-853 #293643214 zu verkaufen
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ID: 293643214
Wafergröße: 8"
System, 8"
Process: J2 Pyro
Gas supply: Bottom
PCW Supply: Bottom
Controller power: 120 VAC, Single phase
Heater power: 208 VAC, Single phase
Hard Disk Drive (HDD)
Power box
Heater upper cover
Gases: N2, H2, O2, TLC (DCE)
Torch heater
CX1317 Torch controller
ATCS-15 SCHUMACHER
CQ1600 Temp controller
PLC OMRON
CX3202 Gas controller
Gas box
Gas box DCE Line
CX3002/B Main controller
D4EX05486 transformer
SIC Liner tube
SIC Boat
SIC Boat cap
SIC Boat Pin
SIC Torch liner tube
Temperature controller:
Heater controller
Heater over
Driver mechanisms:
I/O Shutter
I/O Stage
FOUP Loader ARM
Wafer detection: 25 Uin
Wafer transfer
1+4 Ceramic fork
Boat elevator
Sealcap
Turntable
Pendent
No heater
Racks:
(4) Lower 2
(5) Upper 2
(2) Sub 2
Gas supply:
MFC
Valve
Torch unit
ATCS-15 Absolute temperature control system
Drivers:
E-Axis motor
R-Axis motor
Z-Axis motor
X-Axis motor
Y-Axis motor
V-Axis motor
CS-Axis motor
CZ-Axis motor
CX-Axis motor
CY-Axis motor
OR-Axis motor
Exhaust system:
HORIBA STEC EC-5000 / PVU-3000 Exhaust APC Valve
Pressure sensor.
HITACHI/KOKUSAI DD-853 ist ein Diffusionsofen und Zubehör, das Anwendern ein hohes Maß an Benutzersteuerung und Leistung bei der Verwendung für Diffusions- und Glühprozesse bietet. HITACHI DD-853 ist mit einer einzigartigen, hochpräzisen Steuerungsausrüstung ausgestattet, die eine enge Kontrolle über Temperatur, Timing und Gasreinheit ermöglicht. Der Ofenkörper ist aus langlebigen, hochwertigen Materialien aufgebaut und soll den Prozess und die Umwelt vor übermäßigem Verschleiß schützen. Im Zentrum von KOKUSAI DD-853 steht ein vertikal montierter, einzelliger Quarzreaktor vom Typ Coil. Diese vertikale Positionierung ermöglicht eine überlegene Leistung von Diffusions- und Glühprozessen. Der Ofen kann Temperaturen bis zu 1450 ° C erreichen und kann eine maximale Leistung von 3.2kW liefern. Die Gleichmäßigkeit der Temperatur wird innerhalb von +/- 5 ° C auf und ab der Länge des Möbelkörpers aufrechterhalten. Das Diffusionsprozessüberwachungssystem ist einfach zu bedienen und ermöglicht es Benutzern, ihre Prozesse sorgfältig auf optimale Leistung einzustellen. Der Ofen ist auch mit einer Luftwäsche ausgestattet, um sicherzustellen, dass während des Diffusions- und Glühprozesses saubere Luft verwendet wird. Diese Maschine umfasst Filter und Kühlsysteme und arbeitet in einem geschlossenen Werkzeug. Ein Druckbehälter ist in die Anlage integriert und mit den für Diffusions- oder Glühprozesse erforderlichen zugelassenen Gasen gefüllt. Der Ofen ist auch mit einer Reihe von Druck- und Wegsensoren ausgestattet, um eine optimale Steuerung des Prozesses zu gewährleisten. DD-853 umfasst auch eine Reihe von Zubehör und bildgebenden Werkzeugen, darunter ein Pyrometer, ein Mikroskop und ein bildgebendes Modell. Diese Kombination ermöglicht es Anwendern, ihre Diffusions- und Glühprozesse genau zu überwachen. Das Pyrometer soll die Temperatur der Probe beim Glühen oder Diffusion messen und detaillierte Messungen liefern. Das Mikroskop und die bildgebende Ausrüstung sind so konzipiert, dass sie ein hohes Maß an Detail und Genauigkeit bieten und gleichzeitig Bilder des Probenmaterials bereitstellen, wie es diffundiert oder geglüht wird. Schließlich kommt HITACHI/KOKUSAI DD-853 mit einer Vielzahl von Sicherheitsfunktionen, die den Benutzer und die Umwelt schützen sollen. Der Ofen ist mit Bodenunterbrechern und Druckregelventilen ausgelegt, um bei Bedarf automatisch Strom abzuschalten. Die Auspuffhaube ist so konzipiert, dass sie einen sauberen Abgasweg bietet, während ein mehrstufiges Filtersystem Rauchgase auffängt und steuert. Der Ofen enthält auch einen Not-Aus-Knopf, der beim Drücken sofort den Strom abschaltet. Zusammenfassend ist HITACHI DD-853 ein Diffusionsofen und Zubehör, das Anwendern ein hohes Maß an Kontrolle und Leistung für Diffusions- und Glühprozesse bietet. Das Gerät verfügt über eine Vielzahl von Funktionen und Zubehör, mit denen Benutzer ihre Prozesse sorgfältig steuern und die Ergebnisse überwachen können. Darüber hinaus sorgen die Sicherheitsmerkmale dafür, dass Benutzer und Umwelt bei Diffusions- und Glühprozessen geschützt werden.
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